Revêtement en carbure de silicium

VeTek Semiconductor se spécialise dans la production de produits de revêtement en carbure de silicium ultra purs, ces revêtements sont conçus pour être appliqués sur des composants en graphite purifié, en céramique et en métal réfractaire.

Nos revêtements de haute pureté sont principalement destinés à être utilisés dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Ils servent de couche protectrice pour les supports de tranches, les suscepteurs et les éléments chauffants, les protégeant des environnements corrosifs et réactifs rencontrés dans des processus tels que MOCVD et EPI. Ces processus font partie intégrante du traitement des plaquettes et de la fabrication des dispositifs. De plus, nos revêtements sont bien adaptés aux applications dans les fours à vide et le chauffage d'échantillons, où l'on rencontre des environnements sous vide poussé, réactifs et oxygénés.

Chez VeTek Semiconductor, nous proposons une solution complète grâce à nos capacités avancées d'atelier d'usinage. Cela nous permet de fabriquer les composants de base en graphite, en céramique ou en métaux réfractaires et d'appliquer les revêtements céramiques SiC ou TaC en interne. Nous fournissons également des services de revêtement pour les pièces fournies par le client, garantissant ainsi la flexibilité nécessaire pour répondre à divers besoins.

Nos produits de revêtement en carbure de silicium sont largement utilisés dans l'épitaxie Si, l'épitaxie SiC, le système MOCVD, le processus RTP/RTA, le processus de gravure, le processus de gravure ICP/PSS, le processus de divers types de LED, y compris les LED bleues et vertes, les LED UV et les UV profonds. LED etc., adaptée aux équipements de LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, etc.

Pièces de réacteur que nous pouvons réaliser :

Revêtement en carbure de silicium plusieurs avantages uniques :

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Paramètre de revêtement en carbure de silicium VeTek Semiconductor

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété	Valeur typique
Structure cristalline	Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Revêtement SiC Densité	3,21 g/cm³
Revêtement SiCDureté	Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille des grains	2~10μm
Pureté chimique	99,99995%
Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
Température de sublimation	2700 ℃
Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
Module de Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique	300W·m^-1·K^-1
Expansion thermique (CTE)	4,5 × 10-6K^-1

STRUCTURE CRISTALLINE DU FILM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Suscepteur Epi recouvert de carbure de silicium Support de plaquette de revêtement SiC Couverture satellite avec revêtement SiC pour MOCVD Suscepteur épi de plaquette de revêtement CVD SiC Élément chauffant à revêtement CVD SiC Support de plaquette Aixtron Satellite Récepteur Epi à revêtement SiC Pièces en graphite demi-lune avec revêtement SiC

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CVD SIC Revillage Baffle

Le déflecteur de revêtement CVD SIC de Vetek est principalement utilisé dans SI Epitaxy. Il est généralement utilisé avec des barils d'extension de silicium. Il combine la température et la stabilité élevées uniques de la liaison du revêtement CVD SIC, ce qui améliore considérablement la distribution uniforme du flux d'air dans la fabrication de semi-conducteurs. Nous pensons que nos produits peuvent vous apporter des technologies de pointe et des solutions de produits de haute qualité.

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CVD SIC Graphite Cylinder

Le cylindre de graphite SIC CVD SIC de Vetek Semiconductor est pivot dans l'équipement semi-conducteur, servant de bouclier protecteur dans les réacteurs pour protéger les composants internes à haute température et à la pression. Il protège efficacement les produits chimiques et la chaleur extrême, préservant l'intégrité de l'équipement. Avec une usure exceptionnelle et une résistance à la corrosion, il assure la longévité et la stabilité dans des environnements difficiles. L'utilisation de ces couvertures améliore les performances des appareils semi-conducteurs, prolonge la durée de vie et atténue les exigences de maintenance et les risques de dommage.

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Buse de revêtement CVD SiC

Les buses de revêtement CVD SIC sont des composants cruciaux utilisés dans le processus d'épitaxy LPE SIC pour déposer des matériaux de carbure de silicium pendant la fabrication de semi-conducteurs. Ces buses sont généralement faites de matériau en carbure de silicium à haute température et chimiquement stable pour assurer la stabilité dans des environnements de traitement sévères. Conçus pour un dépôt uniforme, ils jouent un rôle clé dans le contrôle de la qualité et de l'uniformité des couches épitaxiales cultivées dans des applications de semi-conducteurs. Bienvenue à votre autre demande.

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Protecteur de revêtement CVD SIC

Le protecteur du revêtement CVD SIC de Vetek Semiconductor utilisé est une épitaxy LPE SIC, le terme "LPE" se réfère généralement à l'épitaxy à basse pression (LPE) dans le dépôt de vapeur chimique à basse pression (LPCVD). Dans la fabrication de semi-conducteurs, le LPE est une technologie de processus importante pour la culture de films minces monocristaux, souvent utilisés pour cultiver des couches épitaxiales de silicium ou d'autres couches épitaxiales semi-conductrices.

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Piédestal enduit de sic

Le semi-conducteur Vetek est professionnel dans la fabrication de revêtement CVD SIC, le revêtement TAC sur le graphite et le matériau en carbure de silicium. Nous fournissons des produits OEM et ODM comme le piédestal revêtu de SiC, le transporteur de la plaquette, le mandrin de la plaquette, le plateau de porte-plaquette, le disque planétaire et ainsi de suite. Avec 1000 salon propre et purification de grade, nous pouvons vous fournir des produits avec une impureté inférieure à 5 pm. de vous bientôt.

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Anneau d'entrée de revêtement sic

Vetek Semiconductor excelle dans la collaboration étroitement avec les clients pour élaborer des conceptions sur mesure pour une bague d'entrée de revêtement sic adaptée à des besoins spécifiques. Ces anneaux d'entrée de revêtement SIC sont méticuleusement conçus pour diverses applications telles que l'équipement CVD SIC et l'épitaxie en carbure de silicium. Pour les solutions de bague d'entrée de revêtement SIC sur mesure, n'hésitez pas à contacter le semi-conducteur de Vetek pour une assistance personnalisée.

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En tant que fabricant et fournisseur professionnel Revêtement en carbure de silicium en Chine, nous avons notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter avancé et durable Revêtement en carbure de silicium en Chine, vous pouvez nous laisser un message.

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