Support de plaquette de revêtement SiC

Vetek Semiconductor est spécialisé dans la fabrication et la fourniture de supports de tranches à revêtement SiC hautes performances et s'engage à fournir des technologies et des solutions de produits avancées à l'industrie des semi-conducteurs.

Dans la fabrication de semi-conducteurs, le support de plaquette de revêtement SiC de Vetek Semiconductor est un composant clé des équipements de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), en particulier dans les équipements de dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD). Sa tâche principale est de soutenir et de chauffer le substrat monocristallin afin que la couche épitaxiale puisse croître uniformément. Ceci est essentiel pour fabriquer des dispositifs semi-conducteurs de haute qualité.

La résistance à la corrosion du revêtement SiC est très bonne, ce qui peut protéger efficacement la base en graphite des gaz corrosifs. Ceci est particulièrement important dans les environnements à haute température et corrosifs. De plus, la conductivité thermique du matériau SiC est également très excellente, ce qui permet de conduire uniformément la chaleur et d'assurer une répartition uniforme de la température, améliorant ainsi la qualité de croissance des matériaux épitaxiaux.

Le revêtement SiC maintient la stabilité chimique à haute température et dans une atmosphère corrosive, évitant ainsi le problème de défaillance du revêtement. Plus important encore, le coefficient de dilatation thermique du SiC est similaire à celui du graphite, ce qui peut éviter le problème de perte de revêtement dû à la dilatation et à la contraction thermiques et garantir la stabilité et la fiabilité à long terme du revêtement.

Propriétés physiques de base deSupport de plaquette de revêtement SiC:

Atelier de production:

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices: