Porte-plaquette de revêtement sic

Vetek Semiconductor est spécialisé dans la fabrication et la fourniture de porteurs de plaquettes de revêtement SIC à haute performance et s'engage à fournir des technologies de pointe et des solutions de produits à l'industrie des semi-conducteurs.

Dans la fabrication de semi-conducteurs, le porte-plaquette de revêtement SIC de Vetek semi-conducteur est un composant clé de l'équipement de dépôt de vapeur chimique (CVD), en particulier dans les équipements de dépôt chimique organique en métal (MOCVD). Sa tâche principale est de soutenir et de chauffer le substrat monocusstal afin que la couche épitaxiale puisse se développer uniformément. Ceci est essentiel pour la fabrication de dispositifs de semi-conducteurs de haute qualité.

La résistance à la corrosion du revêtement SIC est très bonne, ce qui peut protéger efficacement la base de graphite des gaz corrosifs. Ceci est particulièrement important dans les environnements à haute température et corrosifs. De plus, la conductivité thermique du matériau SIC est également très excellente, ce qui peut entraîner la chaleur uniformément et assurer une distribution de température uniforme, améliorant ainsi la qualité de croissance des matériaux épitaxiaux.

Le revêtement SIC maintient la stabilité chimique en température élevée et atmosphère corrosive, évitant le problème de la défaillance du revêtement. Plus important encore, le coefficient de dilatation thermique du SIC est similaire à celui du graphite, qui peut éviter le problème de la perte de revêtement due à une expansion thermique et à une contraction, et assurer la stabilité et la fiabilité à long terme du revêtement.

Propriétés physiques de base dePorte-plaquette de revêtement sic:

Boutique de production:

Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices: