Revêtement en céramique en carbure de silicium

It semi-conducteur Revêtement en céramique en carbure de siliciumest un revêtement protecteur haute performance en matériau de carbure de silicium (SIC) extrêmement dur et résistant à l'usure, qui offre une excellente résistance à la corrosion chimique et une stabilité à haute température. Ces propriétés sont cruciales dans la production de semi-conducteurs, de sorte que le revêtement en céramique en carbure de silicium est largement utilisé sur les composants clés de l'équipement de fabrication de semi-conducteurs.

Le rôle spécifique joué par le revêtement en céramique en carbure de silicium Vetek Semiconductor estcomme suit:

Améliorer la durabilité de l'équipement: Le revêtement en céramique en carbure de silicium offre une excellente protection de surface pour l'équipement de fabrication de semi-conducteurs avec sa dureté extrêmement élevée et sa résistance à l'usure. En particulier dans les environnements de processus à haute température et hautement corrosifs, tels que le dépôt chimique de vapeur (CVD) et la gravure du plasma, le revêtement en céramique en carbure de silicium peut prévenir efficacement les dommages à la surface de l'équipement en raison de l'érosion chimique ou de l'usure physique, prolongeant ainsi considérablement la durée de vie de l'équipement et la réduction du temps d'arrêt causée par la remplacement et l'entretien fréquemment.

Améliorer la pureté du processus: Dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, toute petite contamination peut provoquer des défauts des produits. L'inertie chimique du revêtement en céramique en carbure de silicium lui permet de rester stable dans des conditions extrêmes, d'empêcher le matériau de libérer des particules ou des impuretés et d'assurer la pureté de l'environnement pendant le processus. Ceci est particulièrement important pour les étapes de fabrication qui nécessitent une haute précision et une propre propreté, comme le PECVD et l'implantation ionique.

Optimiser la gestion thermique: Dans le traitement des semi-conducteurs à haute température, tels que le traitement thermique rapide (RTP) et les processus d'oxydation, la conductivité thermique élevée du revêtement en céramique en carbure de silicium permet une distribution de température uniforme à l'intérieur de l'équipement. Cela aide à réduire le stress thermique et la déformation des matériaux causés par les fluctuations de la température, améliorant ainsi la précision et la cohérence de la fabrication des produits.

Soutenir l'environnement de processus complexe: Dans les processus qui nécessitent un contrôle complexe de l'atmosphère, tels que la gravure ICP et les processus de gravure PSS, la stabilité et la résistance à l'oxydation du réchauffeur de revêtement en céramique en carbure de silicium garantissent les performances stables de l'équipement en fonctionnement à long terme, ce qui réduit le risque de dégradation des matériaux ou de dégâts de l'équipement en raison de changements environnementaux.

It semi-conducteurse concentre sur la fabrication et la fourniture de hautes performancesRevêtement en céramique en carbure de silicium, et s'engage à fournir des technologies de pointe et des solutions de produits pour l'industrie des semi-conducteurs.Nous espérons sincèrement être votre partenaire à long terme en Chine.

Propriétés physiques de base deRevêtement en céramique en carbure de silicium:

Voirk Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coatic Shops:

Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices: