Chauffage de graphite de revêtement en céramique en carbure de silicium

It semi-conducteur Chauffage de graphite de revêtement en céramique en carbure de siliciumcombine l'excellente conductivité électrique et thermique du graphite avec la résistance à haute température, la résistance à la corrosion et la résistance à l'usure du revêtement en céramique en carbone en silicium, et est conçu pour les environnements de fabrication sécumontaires rigoureux. 

Chauffage de graphite de revêtement en céramique en carbure de siliciumest principalement utilisé dans l'équipement de revêtement sous vide (évaporation), et les méthodes couramment utilisées sont PCD (séchage chimique plasmatique) et PVD (dépôt physique de vapeur). Ce produit a joué un rôle important dans la promotion des progrès technologiques et l'amélioration de l'efficacité de la production dans l'industrie des semi-conducteurs.Nous sommes sincèrement impatients de poursuivre la coopération avec vous.

Le matériau et les caractéristiques structurelles du chauffage en graphite de revêtement en céramique en carbure de silicium sont les suivants:

Substrat de graphite: Le graphite est connu pour sa conductivité thermique élevée et son coefficient d'extension thermique faible. Il peut répondre rapidement aux changements de température et maintenir la stabilité structurelle à des températures élevées.

Revêtement en céramique en carbone en silicium: Le revêtement SIC est uniformément enduit sur la surface du graphite par le dépôt de vapeur chimique ou d'autres processus avancés. Le SIC a une résistance à la dureté et à la corrosion chimique extrêmement élevée, qui peuvent protéger le substrat de graphite contre les environnements d'oxydation et de corrosifs à haute température.

La conception structurelle du produit spécial du chauffage en graphite de revêtement en céramique en carbure de silicium détermineLes avantages du produit irremplaçable de ce produit dans le processus de traitement des semi-conducteurs:

Chauffage efficace et uniforme:

Conductivité thermique: La conductivité thermique élevée du graphite permet au radiateur d'atteindre et de maintenir rapidement la température requise, et le revêtement SIC assure une distribution uniforme de la chaleur. Ceci est particulièrement important pour les processus semi-conducteurs qui nécessitent un contrôle précis de la température, tel que le traitement thermique rapide (RTP) et le dépôt chimique de vapeur (CVD).

Uniformité de la température: Grâce à une distribution de chaleur uniforme, le revêtement en graphite en céramique en carbure de silicium peut réduire efficacement le gradient de contrainte thermique et de température, assurant la cohérence et la stabilité de la qualité des plaquettes de semi-conducteur tout au long du processus de chauffage.

Protection anti-corrosion:

Résistance chimique: La résistance à la corrosion chimique du revêtement SIC permet au radiateur de fonctionner de manière stable et pendant longtemps dans des environnements de gaz et de produits chimiques corrosifs, en évitant les dommages au substrat de graphite. Cette caractéristique est particulièrement critique dans des processus tels que le dépôt chimique de vapeur (CVD) et le dépôt de vapeur chimique amélioré au plasma (PECVD).

Résistance à l'oxydation: À des températures élevées, le revêtement SIC peut empêcher l'oxydation du substrat de graphite, prolonger la durée de vie du radiateur et réduire la fréquence et le coût de la maintenance de l'équipement.

Réduire la contamination des particules:

Stabilité de surface: Le revêtement SIC est non seulement résistant à l'usure, mais empêche également les particules de tomber de la surface du matériau en raison du cycle thermique ou des réactions chimiques, réduisant ainsi le risque de contamination par les particules qui peut se produire pendant la fabrication de semi-conducteurs et assurer un environnement de processus à haute permis.

Améliorer la fiabilité et l'efficacité des processus:

Conception de longue durée: En raison de la combinaison de la résistance mécanique du graphite et de la résistance à l'usure du revêtement SIC, le chauffage en graphite de revêtement en céramique en carbure de silicium peut maintenir un fonctionnement à haute efficacité pendant une longue période dans des conditions difficiles de processus, améliorant considérablement la fiabilité globale de l'équipement.

Utilisation efficace de l'énergie: La conductivité thermique élevée du graphite et la stabilité à haute température du revêtement SIC permettent au radiateur de réduire la consommation d'énergie tout en améliorant la précision du contrôle de la température, améliorant ainsi l'efficacité globale de la production de semi-conducteurs.

Propriétés physiques de base deChauffage de graphite de revêtement en céramique en carbure de silicium:

It semi-conducteurChauffage de graphite de revêtement en céramique en carbure de siliciumboutiques:

Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

/ autre processus