chauffe-revêtement en céramique en carbure de silicium

It semi-conducteurLe radiateur de revêtement en céramique en carbure de silicium est un radiateur conçu pour des environnements à haute température et durs. Il recouvre une couche de revêtement en céramique en carbone en silicium (SIC) à la surface de l'élément chauffant pour donner à l'équipement une excellente résistance à la chaleur, une résistance à la corrosion et une conductivité thermique. 

Chauffe-revêtement en céramique en carbure de siliciumest principalement utilisé dans l'équipement de revêtement à vide (évaporation). Les méthodes couramment utilisées sont le PCD (séchage chimique plasmatique) et le PVD (dépôt physique de vapeur), qui sont largement utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs et d'autres applications industrielles à haute demande.

Combiné avec la conception de revêtement haute performance du radiateur de revêtement en céramique en carbure de silicium,Il peut fournir une excellente solution de chauffage pour les processus à haute température.

Excellente conductivité thermique: Le matériau SIC a une excellente conductivité thermique, garantissant que le radiateur peut atteindre une distribution de chaleur uniforme dans la zone de travail et réduire les gradients de température.

Fournir une distribution de chaleur uniforme: Le chauffage de revêtement en céramique en carbure de silicium utilise la conductivité thermique élevée du matériau SIC pour obtenir une distribution de température uniforme dans toute la zone de chauffage. Ceci est essentiel pour assurer un traitement thermique uniforme des plaquettes de semi-conducteur dans divers processus à haute température tels que le traitement thermique rapide (RTP), la diffusion et l'oxydation, évitant les défauts du produit causés par la surchauffe locale ou la température inégale.

Tolérance à haute température: Le revêtement SIC permet au radiateur de résister à des températures extrêmement élevées, généralement jusqu'à 1600 ° C, adaptées à divers processus de traitement à haute température.

Améliorer la résistance à la chaleur: Parce que le revêtement peut résister à des températures extrêmement élevées, elle fonctionne bien dans les processus qui nécessitent un fonctionnement à haute température à long terme. Par exemple, dans les processus de dépôt chimique de vapeur (CVD), le chauffage de revêtement en céramique en carbure de silicium peut assurer un fonctionnement stable à long terme de l'équipement à des températures élevées et maintenir des performances de chauffage cohérentes, améliorant ainsi la répétabilité et la fiabilité des processus.

Résistance à la corrosion chimique: Le revêtement SIC a une résistance extrêmement élevée aux gaz acides, alcalins et corrosifs, et peut rester stable pendant longtemps dans un environnement d'atmosphère chimique complexe, prolongeant la durée de vie de l'équipement. 

Prolonger la durée de vie de l'équipement: Le revêtement SIC a une excellente résistance à l'oxydation et une résistance à la corrosion, et peut résister efficacement à l'érosion chimique et à l'oxydation à des températures élevées. Ceci est très critique dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, en particulier dans un environnement qui gère les gaz et les produits chimiques corrosifs. L'effet protecteur du revêtement peut prolonger considérablement la durée de vie du radiateur et réduire la fréquence des coûts de remplacement et de maintenance de l'équipement.

Propriétés physiques de base du chauffage de revêtement en céramique en carbure de silicium:

Voirk Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating Shops:

Aperçu de la chaîne de l'industrie de la puce semi-conductrice de Vetek: