Processus d'épitaxie SiC

Le suscepteur planétaire du revêtement TAC est un produit exceptionnel pour l'équipement Aixtron Epitaxy. Le revêtement TAC de Vetek Semiconductor offre une excellente résistance à haute température et une inertie chimique. Cette combinaison unique garantit des performances fiables et une longue durée de vie, même dans des environnements exigeants. Vetek s'engage à fournir des produits de haute qualité et à servir de partenaire à long terme sur le marché chinois avec des prix compétitifs.

Le revêtement TAC peut résister à une température élevée de 2200 ℃. Vetek Semiconductor fournit un revêtement TAC de haute pureté avec des impuretés inférieures à 5 ppm en Chine. La plaque de support de piédestal de revêtement TAC est capable de résister à l'hydrogène de l'ammoniac, l'argonine dans la chambre de réaction de dispositif épitaxial. Il améliore la durée de vie du produit. Vous fournissez les exigences, nous fournissons une personnalisation.

Le mandrin de revêtement TAC de Vetek Semiconductor présente un revêtement de haute qualité de la surface, connu pour sa résistance exceptionnelle à haute température et son inertie chimique, en particulier dans les processus d'épitaxy en carbure de silicium (SIC) (EPI). Avec ses caractéristiques exceptionnelles et ses performances supérieures, notre Chuck de revêtement TAC offre plusieurs avantages clés. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et nous nous réjouissons d'être votre partenaire à long terme en Chine.

LPE SIC EPI Halfmoon est une conception spéciale pour Horizonational Epitaxy Furnace, un produit révolutionnaire conçu pour élever les processus épitaxy du réacteur LPE. Cette solution de pointe possède plusieurs caractéristiques clés qui garantissent des performances et une efficacité supérieures tout au long de vos opérations de fabrication.Vetek Semiconductor est professionnel dans la fabrication du LPE SIC Halfmoon en 6 pouces, 8 pouces. En avant pour mettre en place une coopération à long terme avec vous.

Les pièces en demi-lune recouvertes d'un revêtement CVD TaC sont plus durables que les pièces en demi-lune revêtues de SiC.VeTek Semiconductor est le principal fabricant et fournisseur en Chine de demi-lune revêtue de carbure de tantale TaC, nous nous sommes spécialisés dans la R&D et la production, pouvons bien contrôler la qualité et offrir un prix compétitif. prix. Vous êtes invités à visiter notre usine pour une discussion plus approfondie sur une coopération à long terme.

Vetek Semiconductor est un fabricant et innovateur de ring à trois petal enrobés de TAC en Chine. Nous sommes spécialisés dans le revêtement TAC et SIC depuis de nombreuses années. Nos produits ont une résistance à la corrosion, une forte résistance. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.