Plaquettes piézoélectriques PZT (PZT sur Si/SOI)

1. Architecture technique

Nos plaquettes présentent une structure d'empilement multicouche sophistiquée conçue pour garantir une adhérence, une conductivité et une réponse piézoélectrique optimales lors du traitement MEMS complexe :

 ●Électrode supérieure (couche clé): Pt (Platine).

● Couche piézo (couche centrale):PZT.

● Couches intermédiaires: Comprend une couche tampon, une électrode inférieure et une couche d'adhérence pour optimiser l'orientation des grains et la stabilité structurelle.

● Substrat: Compatible avec les plaquettes Si ou SOI.

2. Assurance qualité et analyse de la microstructure

Nous garantissons une grande fiabilité grâce à une caractérisation technique rigoureuse :

 ●Analyse SEM: Les images en microscopie électronique à balayage (MEB) révèlent une morphologie de surface dense et sans fissures avec une distribution granulométrique uniforme, idéale pour les applications MEMS de haute fiabilité.

 ●Caractérisation XRD: Les diagrammes de diffraction des rayons X (DRX) confirment la formation de phase pérovskite pure avec une orientation préférée forte (100), garantissant des coefficients de performance piézoélectriques maximaux.

3. Spécifications techniques (caractéristiques)

4. Applications principales

 ● Transducteurs ultrasoniques micro-usinés piézoélectriques (pMUT): Réseaux miniaturisés haute fréquence pour capteurs d'empreintes digitales, reconnaissance gestuelle et radar à ultrasons automobile.

 ●Communications: Clé pour fabriquer des filtres FBAR ou SAW en 5G/6G afin d'obtenir une bande passante plus large et une perte d'insertion plus faible.

 ● MEMS acoustiques: Fournit une réponse transitoire puissante pour les haut-parleurs MEMS et améliore le rapport signal/bruit (SNR) pour les microphones MEMS.

 ● Contrôle précis des fluides: Vibration à grande vitesse via le mode d31 pour un contrôle précis à l'échelle nanolitre du volume des gouttelettes dans les têtes d'impression à jet d'encre.

 ● Médical & Beauté (Micro-pompage): Entraîne des nébuliseurs médicaux ou des pompes à ultrasons cosmétiques avec une grande fiabilité et une taille compacte.

5. Services de personnalisation

En plus du dépôt standard sur tranches de Si, nous proposons également des services de dépôt sur mesure :

 ●Personnalisation du film et de l'épaisseur: Dépôt de types de films spécifiques et d'épaisseurs personnalisées selon les exigences de conception.

 ●Fonderie OEM: Acceptation des tranches fournies par les clients pour une croissance de couches minces piézoélectriques de haute qualité.

 ●Prise en charge du substrat SOI: Dépôt spécialisé sur plaques SOI avec les spécifications suivantes :