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Ainsi les frais de scolarité EPI revêtus
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Ainsi les frais de scolarité EPI revêtus

En tant que premier fabricant national de revêtements en carbure de silicium et en carbure de tantale, VeTek Semiconductor est en mesure de fournir un usinage de précision et un revêtement uniforme du suscepteur Epi revêtu de SiC, contrôlant efficacement la pureté du revêtement et du produit en dessous de 5 ppm. La durée de vie du produit est comparable à celle du SGL. Bienvenue à nous renseigner.

Vous pouvez être assuré d'acheter un suscepteur EPI enduit de sic de notre usine.


VETEK Semiconductor Sic revêtu EPI Soscepteur est le baril épitaxial est un outil spécial pour le processus de croissance épitaxiale des semi-conducteurs avec de nombreux avantages:


LPE SI EPI Susceptor Set

● Capacité de production efficace : Le suscepteur épi à revêtement SiC de VeTek Semiconductor peut accueillir plusieurs tranches, ce qui permet d'effectuer une croissance épitaxiale de plusieurs tranches simultanément. Cette capacité de production efficace peut considérablement améliorer l’efficacité de la production et réduire les cycles et les coûts de production.

● Contrôle de la température optimisé: Le Susceptor Epi revêtu de SiC est équipé d'un système avancé de contrôle de la température pour contrôler et maintenir avec précision la température de croissance souhaitée. Un contrôle stable de la température aide à obtenir une croissance uniforme de la couche épitaxiale et à améliorer la qualité et la cohérence de la couche épitaxiale.

● Distribution d'atmosphère uniforme: Le suscepteur épi revêtu de SiC offre une répartition uniforme de l'atmosphère pendant la croissance, garantissant que chaque tranche est exposée aux mêmes conditions atmosphériques. Cela permet d'éviter les différences de croissance entre les tranches et d'améliorer l'uniformité de la couche épitaxiale.

● Contrôle efficace des impuretés: La conception du suscepteur EPI revêtu de SIC aide à réduire l'introduction et la diffusion des impuretés. Il peut fournir un bon contrôle d'étanchéité et un bon contrôle de l'atmosphère, réduire l'impact des impuretés sur la qualité de la couche épitaxiale et ainsi améliorer les performances et la fiabilité des appareils.

● Développement de processus flexible: L'Epi Susceptor dispose de capacités de développement de processus flexibles qui permettent un ajustement et une optimisation rapides des paramètres de croissance. Cela permet aux chercheurs et aux ingénieurs de mener un développement et une optimisation rapides des processus pour répondre aux besoins de croissance épitaxiale de différentes applications et exigences.


Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC :

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété Valeur typique
Structure cristalline Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Densité de revêtement sic 3,21 g / cm³
Revêtement CVD SiC Dureté 2500 Vickers dureté (charge de 500 g)
Taille des grains 2 ~ 10 mm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J · kg-1· K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPA RT 4 points
Module de jeunes Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique 300W · M-1· K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5 × 10-6K-1


It semi-conducteurAinsi les frais de scolarité EPI revêtusMagasin de production

VeTek Semiconductor SiC Coated Epi Susceptor Production Shop

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices :

SiC Epitaxy Si Epitaxy GaN Epitaxy


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