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Donc enrobage du support
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Donc enrobage du support

Vetek Semiconductor se concentre sur la recherche et le développement et l'industrialisation du revêtement SIC CVD et du revêtement TAC CVD. Prenant l'exemple du revêtement de revêtement SIC comme exemple, le produit est hautement traité avec une haute précision, un revêtement SIC CVD dense, une résistance à haute température et une forte résistance à la corrosion. Votre demande en nous est la bienvenue.

Vous pouvez être assuré d'acheter SIC Coating Susgenror de notre usine. En tant que fabricant de revêtement CVD SIC, Vetek Semiconductor aimerait vous fournir des suscepteurs de revêtement SIC qui sont en graphite de haute pureté et un suscepteur de revêtement SIC (en dessous de 5 ppm).


Chez Vetek Semiconductor, nous nous spécialisons dans la recherche technologique, le développement et la fabrication, offrant une gamme de produits avancés pour l'industrie. Notre gamme de produits principale comprend le revêtement SIC CVD + graphite de haute pureté, suscepteur en revêtement SIC, quartz semi-conducteur, revêtement TAC CVD + graphite de haute pureté, feutre rigide et autres matériaux.

L'un de nos produits phares est le suscepteur du revêtement SIC, développé d'une technologie innovante pour répondre aux exigences strictes de la production de plaquettes épitaxiales. Les plaquettes épitaxiales doivent présenter une distribution de longueur d'onde étroite et de faibles niveaux de défaut de surface, faisant de notre suscepteur de revêtement SIC un composant essentiel pour atteindre ces paramètres cruciaux.

Avantages de notre suscepteur de revêtement sic:


✔ Protection des matériaux de base: Le revêtement CVD SIC agit comme une couche protectrice pendant le processus épitaxial, protégeant efficacement le matériau de base de l'érosion et des dommages causés par l'environnement externe. Cette mesure de protection prolonge considérablement la durée de vie de l'équipement.

✔ Excellente conductivité thermique: Notre revêtement CVD SIC possède une conductivité thermique exceptionnelle, transférant efficacement la chaleur du matériau de base à la surface du revêtement. Cela améliore l'efficacité de la gestion thermique pendant l'épitaxie, garantissant des températures de fonctionnement optimales pour l'équipement.

✔ Amélioration de la qualité du film: Le revêtement CVD SIC offre une surface plate et uniforme, créant une base idéale pour la croissance du film. Il réduit les défauts résultant de l'inadéquation du réseau, améliore la cristallinité et la qualité du film épitaxial et améliore finalement ses performances et sa fiabilité.


Choisissez le revêtement de revêtement SIC Vetek Semiconductor pour vos besoins de production de plaquettes épitaxiaux et bénéficiez d'une protection améliorée, d'une conductivité thermique supérieure et d'une qualité de film améliorée. Faites confiance aux solutions innovantes de Vetek Semiconductor pour stimuler votre succès dans l'industrie des semi-conducteurs.

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC:

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC
Propriété Valeur typique
Structure cristalline FCC β phase polycristalline, principalement (111) orienté
Densité SIC CVD 3,21 g / cm³
CVD SIC Revat dureté 2500 Vickers dureté (charge de 500 g)
Taille des grains 2 ~ 10 mm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J · kg-1· K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPA RT 4 points
Module de jeunes 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Conductivité thermique 300W · M-1· K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5 × 10-6K-1

Veteksemi Sic Coating Sousiner Production Shops:

SiC Coating Susceptor Production shops

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