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Suscepteur de revêtement SiC
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Suscepteur de revêtement SiC

Vetek Semiconductor se concentre sur la recherche, le développement et l'industrialisation des revêtements CVD SiC et CVD TaC. En prenant comme exemple le suscepteur de revêtement SiC, le produit est hautement traité avec un revêtement CVD SIC dense de haute précision, une résistance à haute température et une forte résistance à la corrosion. Votre enquête sur nous est la bienvenue.

Vous pouvez être assuré d'acheter un suscepteur de revêtement SiC dans notre usine. En tant que fabricant de revêtements CVD SiC, VeTek Semiconductor souhaite vous fournir des suscepteurs de revêtement SiC constitués de graphite de haute pureté et d'un suscepteur de revêtement SiC (inférieur à 5 ppm).Bienvenue pour nous contacter.


Chez Vetek Semiconductor, nous sommes spécialisés dans la recherche, le développement et la fabrication technologiques, proposant une gamme de produits avancés pour l'industrie. Notre principale gamme de produits comprend un revêtement CVD SiC + du graphite de haute pureté, un suscepteur à revêtement SiC, du quartz semi-conducteur, un revêtement CVD TaC + du graphite de haute pureté, du feutre rigide et d'autres matériaux.

L'un de nos produits phares est le suscepteur de revêtement SiC, développé avec une technologie innovante pour répondre aux exigences strictes de la production de plaquettes épitaxiales. Les tranches épitaxiales doivent présenter une distribution de longueur d'onde étroite et de faibles niveaux de défauts de surface, ce qui fait de notre suscepteur de revêtement SiC un composant essentiel pour atteindre ces paramètres cruciaux.

Avantages de notre suscepteur de revêtement SiC :


✔ Protection des matériaux de base: Le revêtement CVD SiC agit comme une couche protectrice pendant le processus d'épitaxie, protégeant efficacement le matériau de base de l'érosion et des dommages causés par l'environnement extérieur. Cette mesure de protection prolonge considérablement la durée de vie de l'équipement.

✔ Excellente conductivité thermique: Notre revêtement CVD SiC possède une conductivité thermique exceptionnelle, transférant efficacement la chaleur du matériau de base à la surface du revêtement. Cela améliore l’efficacité de la gestion thermique pendant l’épitaxie, garantissant des températures de fonctionnement optimales pour l’équipement.

✔ Qualité de film améliorée: Le revêtement CVD SiC offre une surface plane et uniforme, créant une base idéale pour la croissance du film. Il réduit les défauts résultant d'une inadéquation de réseau, améliore la cristallinité et la qualité du film épitaxial et améliore finalement ses performances et sa fiabilité.


Choisissez le suscepteur de revêtement SiC Vetek Semiconductor pour vos besoins de production de plaquettes épitaxiales et bénéficiez d'une protection améliorée, d'une conductivité thermique supérieure et d'une qualité de film améliorée. Faites confiance aux solutions innovantes de VeTek Semiconductor pour conduire votre succès dans l'industrie des semi-conducteurs.

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC :

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC
Propriété Valeur typique
Structure cristalline Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111)
Densité CVD SiC 3,21 g/cm³
Revêtement CVD SiC Dureté Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g)
Taille des grains 2~10μm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J·kg-1·K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPa RT 4 points
Module de Young Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
Conductivité thermique 300W·m-1·K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5×10-6K-1

Ateliers de production de suscepteurs de revêtement VeTekSemi SiC :

SiC Coating Susceptor Production shops

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