Bateau à plaquettes à revêtement CVD SiC de haute pureté

1. Facteurs de performance fondamentaux ?

• Pureté au niveau 7N :Nous maintenons une norme de pureté de 99,99999 % (7N). Ceci n'est pas négociable pour empêcher les contaminants métalliques de migrer dans la tranche lors de longues étapes d'entraînement ou d'oxydation.
• Le sceau CVD (50-300 μm) :Nous ne nous contentons pas de « peindre » la surface. Notre couche CVD SiC de 50 à 300 μm crée une étanchéité totale sur le substrat. Cela élimine la porosité, ce qui signifie que le bateau ne piègera pas de produits chimiques ni ne rejettera de particules même après une exposition répétée à des gaz réactifs ou un nettoyage agressif SPM/DHF.
• Rigidité thermique :La faible dilatation thermique naturelle du carbure de silicium maintient ces bateaux droits. Ils ne s'affaisseront pas et ne se tordront pas pendant le recuit thermique rapide (RTA), garantissant que le bras du robot touche toujours la bonne fente sans se coincer.
• Des rendements soutenus :La surface est conçue pour une faible adhérence des sous-produits. Moins d’accumulation signifie moins de particules frappant vos plaquettes et plus de cycles de nettoyage sur banc humide.
• Géométrie personnalisée :Chaque fabrique a sa propre configuration. Nous les usinons selon vos dessins de pas et de fente spécifiques, que vous utilisiez un four horizontal ou une ligne automatisée verticale de 300 mm.

2. Compatibilité des processus

• Atmosphère:Résistant aux environnements TMGa, AsH₃ et O₂ à haute concentration.
• Plage thermique :Fonctionnement stable à long terme jusqu'à 1400°C.
• Matériels:Spécialement conçu pour les processus d'oxydation et de diffusion des plaquettes logiques, de puissance et analogiques.