Support RTP RTA en graphite revêtu de carbure de silicium (SiC) CVD

Caractéristiques du produit

· Équipement de base :Conçu pour les systèmes de recuit thermique rapide (RTA) et de traitement thermique rapide (RTP).

· Primairery Aapplication : Opérationtimisé pour les processus de recuit de plaquettes semi-conductrices.

· Opérationenote Tetempérature :Fonctionnement stable de 200°C à 700°C.

· Excellent Thermal Uniformité : Assure une répartition homogène de la chaleur pour un traitement cohérent des plaquettes.

· Faible particuleGgénération : Le revêtement CVD SiC dense minimise la contamination et améliore le rendement de production.

· Résistance chimique supérieure :Résistant à l’oxydation et aux gaz de processus corrosifs pendant le traitement thermique.

· Exceptionnelg Thermal Résistance aux chocs : Maintient l’intégrité structurelle grâce à des cycles répétés de chauffage et de refroidissement rapides.

· Longue durée de vie :Le revêtement SiC résistant à l'usure prolonge considérablement la durée de vie des composants et réduit les coûts de maintenance.

· CoutumeFabrication:Disponible en différentes tailles et configurations pour correspondre à différents équipements RTP/RTA.

Spécifications techniques

Applications

·Recuit thermique rapide (RTA)

· Traitement thermique rapide (RTP)

· Recuit de tranches de silicium

· Activation des dopants

· Oxydation

· Diffusion

·Fabrication de semi-conducteurs composés

·Fabrication de MEMS

·Traitement des semi-conducteurs de puissance

FAQ

1. Qu'est-ce qu'un opérateur RTP/RTA ?

Un support RTP/RTA est un composant de support de tranche utilisé dans les systèmes de traitement thermique rapide et de recuit thermique rapide. Il maintient solidement les plaquettes semi-conductrices tout en assurant un transfert de chaleur uniforme tout au long du cycle thermique.

2. Pourquoi le revêtement CVD SiC est-il préféré ?

Comparé au graphite nu, le revêtement CVD SiC offre une résistance supérieure à l'oxydation, une génération de particules plus faible, une meilleure stabilité chimique et une durée de vie nettement plus longue.

3. VETEK peut-il fournir des transporteurs RTP/RTA personnalisés ?

Oui. VETEK propose des transporteurs RTP/RTA personnalisés basés sur les dessins des clients.