Pommeau de douche à gaz SiC solide

Pommeau de douche à gaz SiC solide

Vetek Semiconductor est une société intégrée dédiée à la recherche, la production et les ventes. Vetek Semiconductor travaille sur l'épitaxy semi-conducteur, la gravure et d'autres produits liés aux processus depuis de nombreuses années, en particulier le revêtement CVD SIC, le revêtement TAC CVD et le SIC solide CVD sont nos produits phares.

Les pommes de douche à gaz VeTek Semiconductor Solid SiC sont couramment utilisées pour répartir uniformément les gaz précurseurs sur la surface du substrat pendant les processus CVD de semi-conducteurs. L'utilisation du matériau CVD-SiC pour les pommes de douche offre plusieurs avantages. Sa conductivité thermique élevée aide à dissiper la chaleur générée lors du processus CVD, garantissant une répartition uniforme de la température sur le substrat. De plus, la stabilité chimique de la pomme de douche CVD sic lui permet de résister aux gaz corrosifs et aux environnements difficiles couramment rencontrés dans les processus CVD. 

La conception des pommes de douche CVD SIC peut être adaptée à des systèmes de MCV et à des exigences de processus spécifiques. Cependant, ils se composent généralement d'une plaque ou d'un composant en forme de disque avec une série de trous ou de fentes percés de précision. Le motif de trou et la géométrie sont soigneusement conçus pour assurer la distribution uniforme des gaz et la vitesse d'écoulement sur la surface du substrat.

Propriétés physiques du sic solide