Processus de dépôt de vapeur chimique anneau de bord SIC solide

CVD Process Solid SIC Edge Ring:

● Matériel: L'anneau de mise au point est fabriqué à partir de SiC solide, d'une haute pureté et d'un matériau en céramique haute performance. Il est préparé par dépôt de vapeur chimique. Le matériau SIC solide offre une durabilité exceptionnelle, une résistance à haute température et d'excellentes propriétés mécaniques.

●  Avantages: L'anneau CVD SIC offre une stabilité thermique exceptionnelle, en maintenant son intégrité structurelle même dans des conditions à haute température rencontrées dans les processus de gravure sec. Sa dureté élevée garantit une résistance au stress et à l'usure mécaniques, conduisant à une durée de vie prolongée. De plus, le SIC solide présente une inertie chimique, la protégeant de la corrosion et le maintien de ses performances au fil du temps.

CVD SIC revêtement:

●  Matériel: Le revêtement SIC CVD est un dépôt à couches minces de SIC en utilisant des techniques de dépôt de vapeur chimique (CVD). Le revêtement est appliqué sur un matériau de substrat, tel que le graphite ou le silicium, pour fournir des propriétés SIC à la surface.

●  Comparaison: Bien que les revêtements CVD SIC offrent certains avantages, tels que le dépôt conforme sur les formes complexes et les propriétés de film accordables, elles peuvent ne pas correspondre à la robustesse et aux performances du SiC solide. L'épaisseur du revêtement, la structure cristalline et la rugosité de surface peuvent varier en fonction des paramètres de processus CVD, ce qui a un impact potentiellement sur la durabilité et les performances globales du revêtement.

En résumé, la bague de mise au point SIC SIC Semiconductor Vetek est un choix exceptionnel pour les applications de gravure à sec. Son matériau SIC solide garantit une résistance à haute température, une excellente dureté et une inertie chimique, ce qui en fait une solution fiable et durable. Alors que le revêtement SIC CVD offre une flexibilité dans le dépôt, l'anneau SIC CVD excelle dans la durabilité et les performances inégalées nécessaires pour exiger des processus de gravure à sec.

Propriétés physiques du sic solide