Bague de revêtement TAC

Le cycle de revêtement TAC de Vetek Semiconductor est fabriqué à partir de graphite de haute qualité et recouvert de carbure de tantale (TAC), un matériau connu pour ses propriétés supérieures, est un composant indispensable dans le traitement de la tranche de semi-conducteur.

Les principales caractéristiques et avantages de l'anneau de revêtement TaC semi-conducteur VeTek :

● Stabilité thermique élevée: L'une des caractéristiques remarquables de l'anneau de revêtement en carbure de tantale est sa capacité à résister à des températures élevées, un facteur critique de la gravure des semi-conducteurs. Le processus de gravure SIC implique une exposition à des températures élevées et à des gaz réactifs, et le revêtement en carbure de tantale garantit que l'anneau reste stable et conserve son intégrité structurelle même dans ces conditions difficiles. Cette résilience thermique garantit que le composant continue de fonctionner de manière optimale sur des périodes prolongées.

● Force mécanique améliorée: La combinaison du graphite à haute résistance et du revêtement TaC donne lieu à un composant aux propriétés mécaniques améliorées, rendant l'anneau revêtu de TaC très résistant à l'usure. Sa résistance mécanique est cruciale pour maintenir fermement les plaquettes de SiC en place, garantissant une gravure précise et empêchant toute déformation pendant le processus.

● Résistance à la corrosion chimique: Dans les processus semi-conducteurs tels que la gravure SIC, les composants sont souvent exposés à des produits chimiques agressifs et à des gaz réactifs. Le revêtement en carbure de tantale offre une excellente protection contre la corrosion, prolongeant considérablement la durée de vie utile de l'anneau et minimisant le besoin de remplacements fréquents. Cette résistance est particulièrement importante dans le processus de gravure, où les composants sont en contact constant avec des substances chimiquement réactives.

● Revêtements CoatiTaC supérieurs pour des performances améliorées : Le revêtement en carbure de tantale sur l'anneau en graphite offre une surface robuste qui améliore les performances globales du composant. Le carbure de tantale est réputé pour son point de fusion élevé (environ 3 880°C) et son excellente résistance aux réactions chimiques, notamment dans les environnements agressifs typiquement rencontrés lors des procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce revêtement en carbure de tantale améliore considérablement la durée de vie du produit, offrant une durabilité supérieure par rapport aux anneaux en graphite non revêtus.

● Force mécanique améliorée: La combinaison du graphite à haute résistance et du revêtement TaC donne lieu à un composant aux propriétés mécaniques améliorées, rendant l'anneau revêtu de TaC très résistant à l'usure. Sa résistance mécanique est cruciale pour maintenir fermement les plaquettes de SiC en place, garantissant une gravure précise et empêchant toute déformation pendant le processus.

En tant que fournisseur, fabricant et usine leader de bagues de revêtement TaC en Chine, VeTek Semiconductor s'engage depuis longtemps à fournir des produits avancés de bagues de revêtement TaC et des solutions techniques pour l'industrie de transformation des semi-conducteurs, et prend en charge des services de produits personnalisés. VeTekSemi a sincèrement hâte de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Propriétés physiques du revêtement TaC

Ateliers de produits pour bagues de revêtement TaC de VeTek Semiconductor