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Anneau de déflecteur enduit de tac
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Anneau de déflecteur enduit de tac

Le cycle de déflecteur revêtu de Vetek Semiconductor de Vetek est un composant hautement spécialisé conçu pour les processus de croissance des cristaux SIC. Le revêtement TAC offre une excellente résistance à la température élevée et une inertie chimique pour faire face aux températures élevées et aux environnements corrosifs pendant le processus de croissance cristalline. Cela garantit des performances stables et une longue durée de vie du composant, réduisant la fréquence du remplacement et des temps d'arrêt. Nous nous engageons à fournir des produits de qualité à des prix compétitifs et nous sommes impatients d'être votre partenaire à long terme en Chine.

Vetek Semiconductor est un fabricant de rings et fournisseurs professionnels en revêtement en Chine TAC. Ces composants sont essentiels dans des environnements qui nécessitent une résistance à haute température, une durabilité exceptionnelle et une inertie chimique inégalée.

Le cycle de déflecteur revêtu de TAC est fabriqué à partir de carbure de tantale de haute pureté, qui offre une excellente conductivité thermique et une résistance extrême aux températures élevées et aux chocs thermiques. Le revêtement TAC du composant fournit une couche supplémentaire de protection contre les produits chimiques agressifs et les environnements durs communs dans la croissance cristalline. La présence du revêtement augmente la durabilité et la durée de vie du composant, en maintenant des performances cohérentes sur plusieurs cycles.

L'anneau de déflecteur enduit de TAC peut résister aux températures allant jusqu'à 2200 ° C, ce qui le rend idéal pour les processus à haute température.Le anneau de déflecteur revêtu de TTA est principalement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs, en particulier pour la croissance cristalline du carbure de silicium. Convient à la fois pour les réacteurs de la recherche et de la croissance des cristaux industriels.


Paramètre de produit de l'anneau de déflecteur enduit TAC

Propriétés physiques du revêtement TAC
Densité 14.3 (g / cm³)
Émissivité spécifique 0.3
Coefficient de dilatation thermique 6,3 × 10-6/ K
Dureté (HK) 2000 HK
Résistance 1 × 10-5Ohm * cm
Stabilité thermique <2500 ℃
Modifications de la taille du graphite -10 ~ -20UM
Épaisseur de revêtement Valeur typique ≥20UM (35UM ± 10UM)


Comparez l'atelier de production de semi-conducteurs:

VeTek Semiconductor Production Shop


Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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