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Creusets en graphite en trois pièces
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Creusets en graphite en trois pièces

Pour les applications exigeantes de croissance de cristaux de semi-conducteurs, le creuset en graphite en trois parties VETEK offre la stabilité, la pureté et l'uniformité thermique requises par le processus. Fabriqué à partir de graphite isostatique de haute qualité, avec des revêtements SiC, TaC ou PyC en option, sa conception divisée n'est pas uniquement destinée à la commodité. Il réduit activement le stress thermique, accélère la maintenance et continue de fonctionner cycle après cycle.

Principales fonctionnalités
· Graphite isostatique de haute pureté avec une teneur en cendres ≤5 ppm après purification.

· La conception modulaire en trois parties minimise les contraintes thermiques et prolonge la durée de vie.

· Excellente conductivité thermique pour une distribution stable de la température.

· Résistance exceptionnelle aux chocs thermiques sous chauffage et refroidissement répétés.

· Compatible avec les revêtements CVD SiC, TaC et PyC en option.

· L'usinage CNC de précision garantit des tolérances dimensionnelles serrées.

· Tailles et structures personnalisées disponibles selon les dessins du client.


Caractéristiques

Propriétés physiques du graphite isostatique
Propriété
Unité
Valeur typique
Densité apparente
g/cm³
1.83
Dureté
HSD
58
Résistivité électrique
μΩ.m
10
Résistance à la flexion
MPa
47
Résistance à la compression
MPa
103
Résistance à la traction
MPa
31
Module de Young
GPa
11.8
Expansion thermique (CTE)
10-6K-1
4.6
Conductivité thermique
W·m-1·K-1
130
Taille moyenne des grains
µm
8-10
Porosité
%
10
Contenu en cendres
ppm
≤5 (après purification)

Applications
· Croissance cristalline PVT SiC

· Systèmes de champ thermique à semi-conducteurs

· Fours de croissance des cristaux

· Fours sous vide à haute température

· Croissance de cristaux de semi-conducteurs composés

· Équipements de R&D sur les semi-conducteurs


Pourquoi travailler avec VETEK ?

· Production interne complète, depuis la purification du graphite jusqu'au revêtement.

· Usinage CNC avancé et contrôle qualité des semi-conducteurs.

· Technologies de revêtement SiC, TaC et PyC en option.

· Fabrication sur mesure à partir de dessins ou de modèles d'équipements.

· Approvisionnement mondial stable et support technique fiable.


Balises actives: Creusets en graphite en trois pièces, creuset en graphite à trois pétales, creuset en graphite semi-conducteur, creuset à croissance cristalline SiC, creuset en graphite PVT, creuset en graphite de haute pureté, creuset en graphite isostatique, champ thermique de croissance cristalline, VETEK
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