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Carbure de silicium solide

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Pomme de douche sic

Pomme de douche sic

Vetek Semiconductor est un principal fabricant de pommes de douche SIC et innovateur en Chine. Nous sommes spécialisés dans le matériau SIC depuis de nombreuses années. La pomme de douche sic est choisie comme matériau de ring en raison de son excellente stabilité thermochimique, de sa résistance mécanique élevée et de sa résistance à l'érosion du plasma. Nous attendons avec impatience de devenir votre partenaire à long terme en Chine.
Pommeau de douche à gaz SiC solide

Pommeau de douche à gaz SiC solide

La pomme de douche à gaz solide à gaz joue un rôle majeur dans la fabrication de l'uniforme de gaz dans le processus de MCV, garantissant ainsi un chauffage uniforme du substrat. Vetek Semiconductor est profondément impliqué dans le domaine des appareils SIC solides depuis de nombreuses années et est en mesure de fournir aux clients des pommes de douche à gaz solide personnalisées. Quelles que soient vos exigences, nous attendons avec impatience votre demande.
Processus de dépôt de vapeur chimique anneau de bord SIC solide

Processus de dépôt de vapeur chimique anneau de bord SIC solide

Vetek semi-conducteur s'est toujours engagé dans la recherche et le développement et la fabrication de matériaux avancés de semi-conducteurs. Aujourd'hui, Vetek Semiconductor a fait de grands progrès dans le processus de dépôt de vapeur chimique des produits SIC SIC Edge Ring et est en mesure de fournir aux clients des anneaux de bord SIC solides hautement personnalisés. Les anneaux de bord SIC solides offrent une meilleure uniformité de gravure et un positionnement précis des plaquettes lorsqu'ils sont utilisés avec un mandrin électrostatique, garantissant des résultats de gravure cohérents et fiables. Dans l'attente de votre enquête et de devenir des partenaires à long terme de l'autre.
Rague de mise au point de gravure SIC solide

Rague de mise au point de gravure SIC solide

L'anneau de focalisation de gravure en SiC solide est l'un des composants essentiels du processus de gravure des plaquettes, qui joue un rôle dans la fixation des plaquettes, la focalisation du plasma et l'amélioration de l'uniformité de la gravure des plaquettes. En tant que principal fabricant de bagues de focalisation SiC en Chine, VeTek Semiconductor dispose d'une technologie de pointe et d'un processus mature, et fabrique une bague de focalisation de gravure en SiC solide qui répond pleinement aux besoins des clients finaux en fonction des exigences des clients. Nous attendons avec impatience votre demande et devenons partenaires à long terme les uns des autres.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


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