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Carbure de silicium solide

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CVD SIC enduit de douche en graphite

CVD SIC enduit de douche en graphite

La tête de douche en graphite enrobée de CVD SIC de VetekSeMICON est un composant haute performance spécialement conçu pour les processus de dépôt chimique de vapeur parmi les semi-conducteurs (CVD). Fabriqué à partir de graphite de haute pureté et protégé par un revêtement en carbure de silicium (CVD) en carbure de vapeur chimique (CVD), cette pomme de douche offre une durabilité exceptionnelle, une stabilité thermique et une résistance aux gaz de processus corrosifs. Dans l'attente de votre nouvelle consultation.
Anneau de bord SIC

Anneau de bord SIC

Anneaux de bord SIC VetekSeMICON à haute pureté, spécialement conçus pour l'équipement de gravure semi-conducteur, comporte une résistance à la corrosion exceptionnelle et une stabilité thermique, améliorant considérablement le rendement de la plaquette
Matière première CVD SIC à haute pureté

Matière première CVD SIC à haute pureté

La matière première SIC CVD SIC à haute pureté préparée par CVD est le meilleur matériau source pour la croissance des cristaux de carbure de silicium par transport physique de vapeur. La densité des matières premières SIC CVD SIC de haute pureté fournies par le semi-conducteur de Vetek est plus élevée que celle des petites particules formées par la combustion spontanée des gaz SI et C-contenant, et il ne nécessite pas de fournaise de frittage dédié et a un taux d'évaporation presque constant. Il peut pousser des monocristaux SIC de très haute qualité. Dans l'attente de votre demande.
Carrier SIC SIC

Carrier SIC SIC

Le support de plaquette SIC solide de Vetek Semiconductor est conçu pour des environnements à haute température et résistants à la corrosion dans les processus épitaxiaux semi-conducteurs et convient à tous les types de processus de fabrication de plaquettes avec des exigences de grande pureté. VETEK Semiconductor est un fournisseur de porte-gigantes en Chine de premier plan en Chine et a hâte de devenir votre partenaire à long terme dans l'industrie des semi-conducteurs.
Pomme de douche en forme de disque solide

Pomme de douche en forme de disque solide

Vetek Semiconductor est l'un des principaux fabricants d'équipements de semi-conducteurs en Chine et un fabricant professionnel et fournisseur de pomme de douche en forme de disque SIC solide. Notre pomme de douche de forme de disque est largement utilisée dans la production de dépôts à couches minces tels que le processus de MCV pour assurer une distribution uniforme du gaz de réaction et est l'un des composants centraux de la fournaise CVD.
SIC Sceal Part

SIC Sceal Part

En tant que fabricant de produits et usine de produits de scellement SIC avancé en Chine. La pièce d'étanchéité semi-conductive VETEK est un composant d'étanchéité haute performance largement utilisé dans le traitement des semi-conducteurs et d'autres processus de température et de haute pression extrêmement élevés. Bienvenue à votre nouvelle consultation.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


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