Carbure de silicium solide

Le carbure de silicium solide semi-conducteur Vetek est un composant en céramique important dans l'équipement de gravure du plasma, du carbure de silicium solide (Carbure de silicium CVD)) Les pièces de l'équipement de gravure comprennentFocus des anneaux, pomme de douche à gaz, plateau, anneaux de bord, etc. En raison de la faible réactivité et de la conductivité du carbure de silicium solide (carbure de silicium CVD) au chlore - et aux gaz de gravure contenant du fluor, il s'agit d'un matériau idéal pour l'équipement de gravure du plasma focalisant les anneaux et autres composants.

Par exemple, l'anneau de mise au point est une partie importante placée à l'extérieur de la tranche et en contact direct avec la tranche, en appliquant une tension sur l'anneau pour concentrer le plasma passant par l'anneau, concentrant ainsi le plasma sur la tranche pour améliorer l'uniformité du traitement. L'anneau de mise au point traditionnel est en silicium ouquartz, le silicium conducteur en tant que matériau de l'anneau de mise au point commun, il est presque proche de la conductivité des plaquettes de silicium, mais la pénurie est une mauvaise résistance à la gravure dans le plasma contenant du fluor, les matériaux de machine à gravure souvent utilisés pendant un certain temps, il y aura un phénomène de corrosion sérieux, réduisant sérieusement son efficacité de production.

SAnneau de mise au point Olid SicPrincipe de travail：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Comparaison de l'anneau de focalisation basé sur Si et du cycle de focalisation SIC CVD:

Comparaison de la bague de mise au point basée sur Si et de la bague de focalisation SIC CVD
Article	Et	Cvd sic
Densité (g / cm³)	2.33	3.21
Bandage (EV)	1.12	2.3
Conductivité thermique (avec cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/ ℃)	2.6	4
Module élastique (GPA)	150	440
Dureté (GPA)	11.4	24.5
Résistance à l'usure et à la corrosion	Pauvre	Excellent

Vetek Semiconductor propose des pièces avancées en carbure de silicium solide (carbure de silicium CVD) comme les anneaux de focalisation SIC pour l'équipement de semi-conducteur. Notre carbure de silicium solide en focalisant les anneaux surpassent le silicium traditionnel en termes de résistance mécanique, de résistance chimique, de conductivité thermique, de durabilité à haute température et de résistance à la gravure des ions.

Les caractéristiques clés de nos anneaux de focalisation SIC incluent:

Densité élevée pour les taux de gravure réduits.

Excellente isolation avec une bande interdite élevée.

Haute conductivité thermique et faible coefficient d'expansion thermique.

Résistance à l'impact mécanique supérieur et élasticité.

Haute dureté, résistance à l'usure et résistance à la corrosion.

Fabriqué à l'aideDépôt de vapeur chimique amélioré par plasma (PECVD)Techniques, nos anneaux de focalisation SIC répondent aux demandes croissantes des processus de gravure dans la fabrication de semi-conducteurs. Ils sont conçus pour résister à la puissance et à l'énergie du plasma plus élevées, en particulier dansplasma couplé capacivement (CCP)Systèmes.

Les anneaux de focalisation SIC de Vetek Semiconductor offrent des performances et une fiabilité exceptionnelles dans la fabrication des appareils semi-conducteurs. Choisissez nos composants sic pour une qualité et une efficacité supérieures.

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Pomme de douche en carbure de silicium

La pomme de douche en carbure de silicium a une excellente tolérance à haute température, une stabilité chimique, une conductivité thermique et de bonnes performances de distribution des gaz, qui peuvent réaliser une distribution uniforme des gaz et améliorer la qualité du film. Par conséquent, il est généralement utilisé dans des processus à haute température tels que les processus de dépôt chimique de vapeur (CVD) ou de dépôt physique de vapeur (PVD). Bienvenue à votre nouvelle consultation à nous, Vetek Semiconductor.

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Anneau de phoque en carbure de silicium

En tant que fabricant de produits et usine professionnels en carbure de carbure de silicium en Chine, le cycle de joint en carbure de silicium VETEK semi-conducteur est largement utilisé dans l'équipement de traitement des semi-conducteurs en raison de son excellente résistance à la chaleur, de sa résistance à la corrosion, de sa résistance mécanique et de sa conductivité thermique. Il convient particulièrement aux processus impliquant des gaz à haute température et des gaz réactifs tels que les MCV, les PVD et la gravure du plasma, et est un choix de matériau clé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Vos autres demandes sont les bienvenues.

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Bloc CVD SIC pour la croissance des cristaux SIC

Le bloc CVD SIC pour la croissance des cristaux SIC, est une nouvelle matière première de haute pureté développée par Vetek Semiconductor. Il a un rapport entrée-sortie élevé et peut cultiver des monocristaux en carbure de silicium de grande taille et de grande taille, qui est un matériau de deuxième génération pour remplacer la poudre utilisée sur le marché aujourd'hui. Bienvenue pour discuter des problèmes techniques.

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SIC Crystal Growth New Technology

Le carbure de silicium de silicium (SiC) formé par le dépôt chimique (CVD) est recommandé d'utiliser du dépôt chimique de vapeur en carbure de silicium (CVD). Dans la nouvelle technologie de croissance des cristaux SIC, le matériau source est chargé dans un creuset et sublimé sur un cristal de graines. Utilisez les blocs CVD-SIC de haute pureté pour être une source de croissance des cristaux SIC. Bienvenue pour établir un partenariat avec nous.

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Pomme de douche CVD sic

Vetek Semiconductor est un principal fabricant de pommes de douche CVD SIC et innovateur en Chine. Nous sommes spécialisés dans le matériau SIC depuis de nombreuses années. La pomme de douche SIC CVD est choisie comme matériau de l'anneau de focalisation en raison de son excellente stabilité thermochimique, de sa résistance mécanique élevée et de sa résistance à l'érosion du plasma. Nous sommes impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Pomme de douche sic

Vetek Semiconductor est un principal fabricant de pommes de douche SIC et innovateur en Chine. Nous sommes spécialisés dans le matériau SIC depuis de nombreuses années. La pomme de douche sic est choisie comme matériau de ring en raison de son excellente stabilité thermochimique, de sa résistance mécanique élevée et de sa résistance à l'érosion du plasma. Nous attendons avec impatience de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.

Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.

Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.

To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.

En tant que fabricant et fournisseur professionnel Carbure de silicium solide en Chine, nous avons notre propre usine. Que vous ayez besoin de services personnalisés pour répondre aux besoins spécifiques de votre région ou que vous souhaitiez acheter avancé et durable Carbure de silicium solide en Chine, vous pouvez nous laisser un message.

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