Bague de mise au point en carbure de silicium

Informations générales sur le produit

Conditions commerciales du produit

Application: Dans les processus de gravure sèche des semi-conducteurs, la bague de mise au point est un élément clé qui garantit l'uniformité du processus. Il entoure étroitement la tranche et, en contrôlant avec précision la répartition du plasma sur les bords de la tranche, détermine directement l'uniformité et la cohérence du processus de gravure, ce qui en fait un élément indispensable pour garantir le rendement des puces.

Services pouvant être fournis : analyse de scénarios d'application client, mise en adéquation des matériaux, résolution de problèmes techniques.

Profil de l'entreprise ： Veteksemicon dispose de 2 laboratoires, d'une équipe d'experts avec 20 ans d'expérience dans les matériaux, avec des capacités de R&D et de production, de test et de vérification.

Paramètres techniques

Avantages principaux de la bague de mise au point Mon rival

1. Une science des matériaux exceptionnelle, née pour les environnements difficiles

Notre matériau en carbure de silicium de haute pureté et haute densité sélectionné peut facilement résister au bombardement intense de plasma et à la corrosion des gaz chimiques contenant du fluor pendant le processus de gravure SiC. Son excellente résistance à la corrosion se traduit directement par une durée de vie plus longue et une fréquence de remplacement des composants plus faible, réduisant non seulement les temps d'arrêt des équipements, mais réduisant également considérablement le risque de contamination par des particules causée par l'usure des composants, vous offrant ainsi une rentabilité globale stable et à long terme.

2. Une conception technique précise garantit un processus cohérent

Chaque bague de mise au point Veteksemicon subit un usinage CNC d'ultra-précision pour garantir que les dimensions clés telles que la planéité, le diamètre intérieur et la hauteur de pas atteignent une précision au micron, garantissant ainsi une correspondance parfaite avec le fabricant d'équipement d'origine (OEM). Notre équipe d’ingénieurs optimise davantage le profil à l’aide de la simulation plasma. Cette conception guide efficacement le champ électrique, réduisant ainsi la gravure anormale sur les bords de la tranche et contrôlant ainsi l'uniformité de gravure de l'ensemble de la tranche à un niveau extrême.

3. Des performances fiables améliorent l’efficacité de la production

Dans des environnements de production de masse exigeants, la pleine valeur de nos produits est réalisée. En assurant une distribution de plasma concentrée et stable, la bague de mise au point Veteksemicon contribue directement à améliorer l'uniformité du taux de gravure et à optimiser la répétabilité du processus d'un lot à l'autre. Cela signifie que votre ligne de production peut fournir de manière constante des produits à haut rendement, tout en bénéficiant de cycles de maintenance plus longs, réduisant ainsi efficacement les coûts des consommables par tranche et vous offrant un avantage concurrentiel significatif.

4. Avenant de vérification de la chaîne écologique

La vérification de la chaîne écologique de Veteksemicon Focus Ring couvre les matières premières jusqu'à la production, a passé la certification des normes internationales et dispose d'un certain nombre de technologies brevetées pour garantir sa fiabilité et sa durabilité dans les domaines des semi-conducteurs et des nouvelles énergies.

Pour des spécifications techniques détaillées, des livres blancs ou des modalités de test d'échantillons, veuillez contacter notre équipe d'assistance technique pour découvrir comment Veteksemicon peut améliorer l'efficacité de votre processus.

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