Palette en porte-à-faux en carbure de silicium pour le traitement des plaquettes

Informations générales sur le produit

Conditions commerciales du produit

Application: Les palettes Veteksemicon SiC sont des composants clés dans la fabrication avancée de semi-conducteurs, conçues pour des processus de base tels que l'épitaxie des dispositifs de puissance SiC, le recuit à haute température et l'oxydation de grille pour les puces à base de silicium.

Services pouvant être fournis : analyse de scénarios d'application client, correspondance des matériaux, résolution de problèmes techniques.

Profil de l'entreprise:Mon rival dispose de 2 laboratoires, d'une équipe d'experts avec 20 ans d'expérience dans les matériaux, avec des capacités de R&D et de production, de test et de vérification.

Paramètres techniques

Principaux avantages des palettes Veteksemi SiC

 ● Pureté ultime, protégeant le rendement des copeaux

Nous utilisons des procédés avancés pour produire des matières premières en carbure de silicium, garantissant un minimum d'impuretés métalliques. Les palettes Veteksemi SiC suppriment efficacement la précipitation des impuretés dans les environnements à haute température pendant des périodes prolongées, empêchant ainsi la contamination des tranches sensibles et garantissant une production à haut rendement à partir de la source.

● Excellente résistance à la chaleur pour relever des défis extrêmes

Le carbure de silicium lui-même possède des propriétés de résistance aux températures élevées qui surpassent la plupart des matériaux céramiques. Nos palettes peuvent facilement supporter des températures de processus allant jusqu'à 1 600 °C, ont un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible et présentent une résistance exceptionnelle aux chocs thermiques lors de cycles répétés de chauffage et de refroidissement rapides, minimisant ainsi le risque de déformation et de fissuration et prolongeant la durée de vie.

● Résistance mécanique extraordinaire pour assurer une transmission stable

D'une rigidité et d'une dureté extrêmement élevées, il conserve une excellente stabilité morphologique même lorsqu'il est entièrement chargé de plaquettes. Cela garantit un alignement précis des tranches pendant le transfert automatisé, leur permettant d'entrer et de sortir en douceur du four, réduisant ainsi le risque de casse due aux vibrations ou aux déviations.

● Excellente résistance à la corrosion, durée de vie prolongée

Les palettes VetekSemicon SiC présentent une forte inertie chimique en présence d'atmosphères corrosives telles que l'oxygène et l'hydrogène que l'on trouve couramment dans les processus d'oxydation et de diffusion, avec des taux d'érosion de surface extrêmement faibles. Cela garantit des dimensions et des performances stables sur une utilisation à long terme, réduisant considérablement votre coût global de possession.

Principaux domaines d'application

Avenant vérification de la chaîne écologique

La vérification de la chaîne écologique des palettes Veteksemicon SiC couvre les matières premières jusqu'à la production, a passé la certification des normes internationales et dispose d'un certain nombre de technologies brevetées pour garantir sa fiabilité et sa durabilité dans les domaines des semi-conducteurs et des nouvelles énergies.

Pour des spécifications techniques détaillées, des livres blancs ou des modalités de test d'échantillons, veuillez contacter notre équipe d'assistance technique pour découvrir comment Veteksemicon peut améliorer l'efficacité de votre processus.