Matière première CVD SiC 7N de haute pureté

1. Facteurs de performance fondamentaux

• Pureté de qualité 7N: Nous maintenons une pureté constante de 99,99999 % (7N), en maintenant les impuretés métalliques à des niveaux de ppb. Ceci est essentiel pour cultiver des cristaux semi-isolants à haute résistivité (HPSI) et garantir une contamination nulle dans les applications de puissance ou RF.
• Stabilité structurelle par rapport à C-Dust: Contrairement aux poudres traditionnelles qui ont tendance à s'effondrer ou à libérer des fines lors de la sublimation, notre vrac CVD à gros grains reste structurellement stable. Cela empêche la migration de la poussière de carbone (poussière C) dans la zone de croissance, principale cause d'inclusions de cristaux et de défauts de micro-tuyaux.
• Cinétique de croissance optimisée: Conçue pour la fabrication à l'échelle industrielle, cette source prend en charge des taux de croissance allant jusqu'à 1,46 mm/h. Cela représente une amélioration de 2 à 3 fois par rapport aux 0,3 à 0,8 mm/h généralement obtenus avec les méthodes conventionnelles à base de poudre.
• Gestion du gradient thermique: La densité apparente élevée et la géométrie spécifique de nos blocs créent un gradient de température plus agressif au sein du creuset. Cela favorise une libération équilibrée de vapeurs de silicium et de carbone, atténuant ainsi les fluctuations « riche en Si tôt / riche en C tardive » qui affectent les processus standards.
• Optimisation du chargement du creuset: Notre matériau permet une augmentation de plus de 2 kg de la capacité de chargement pour les creusets de 8 pouces par rapport aux méthodes à poudre. Cela permet la croissance de lingots plus longs par cycle, améliorant directement le taux de rendement post-production vers 100 %.

1. Spécifications techniques

Comparaison : poudre traditionnelle et VETEK CVD Bulk