Board en céramique en carbure de silicium

Les avantages de l'utilisation du bateau à plaquettes en céramique en carbure de silicium Veteksemi

● Résistance à la température très élevée à 3000 F (1650 ℃）

● Résistance super corrosion aux acides, solvants, sels et bières, résistant à l'usure  

●  Facile à nettoyer

●  Forte résistance aux chocs

●  Sans glissement

L'industrie de la fabrication de semi-conducteurs VETEK traite généralement ces plaquettes dans le porte-boue horizontal ou les transporteurs verticaux.

● Le support horizontal, généralement appelé un "bateau", possède trois ou quatre barres éliminées horizontalement disposées dans une conception de demi-cercle, chaque bar ayant des rainures orientées intérieurement qui s'y trouvent à intervalles réguliers. Chaque ensemble de rainures définit un espace vertical pour transporter une tranche disposée verticalement.

●  Le support vertical, généralement appelé "rack vertical", a trois ou quatre tiges (ou poteaux) disposées verticalement disposées dans une conception de demi-cercle, chaque poteau ayant des emplacements qui y sont fixés à intervalles réguliers pour définir un espace pour soutenir une plaquette disposée horizontalement.

Pour assurer la précision géométrique requise dans ce domaine, les trois ou quatre tiges sont fixées à une plaque supérieure et une plaque inférieure. Les parties du montant entre chaque fente, appelées « dents », sont espacées de manière identique afin de supporter des tranches à intervalles réguliers et parallèles à la plaque inférieure. L'ensemble du rack est ensuite placé dans un four vertical pour traiter les tranches.

Parce qu'une tranche traitée sur une grille verticale subit moins de gradient de température sur son visage (par rapport à une tranche traitée dans un bateau horizontal), les fabricants de semi-conducteurs se tournent de plus en plus vers des fours verticaux. Il y a cependant un inconvénient du fournisseur vertical. Les plaquettes disposées sur une grille verticale conventionnelle sont prises en charge uniquement à leur bord extérieur. En tant que tels, les zones de la tranche reposant sur ces dents éprouvent un stress plus élevé que le reste de la tranche.

Lorsque les températures de la fournaise dépassent environ 1000 ° C, ces contraintes deviennent souvent significatives et les parties de la tranche monocristallière se déplacent les unes des autres le long des plaques cristallographiques en réponse à cette contrainte. Ce phénomène, appelé «glissement», détruit effectivement la valeur des dispositifs semi-conducteurs situés dans la zone de la plaquette où un glissement s'est produit.

En tant que principal fournisseur de bateaux-bateaux en céramique en carbure de silicium en Chine, Vetek Semiconductor s'est toujours engagé à fournir des solutions de produits de pointe et de bateaux à plaquette pour l'industrie de la transformation des semi-conducteurs. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

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