CVD SIC revêtement en graphite Suscepteur

CVD SIC revêtement en graphite S-Soscepteur est spécialement conçu pour la fabrication de haute précision dans l'industrie des semi-conducteurs. Le substrat de graphite est recouvert d'une couche SIC à haute pureté par le processus CVD, qui a une excellente résistance à la température élevée, une résistance à la corrosion et une résistance à l'oxydation, et peut fonctionner de manière stable pendant une longue période dans des environnements à haute température et à vide. Ce piédestal est largement utilisé dans le MOCVD, le PECVD, le PVD et d'autres équipements pour soutenir le traitement et la manipulation des plaquettes et d'autres matériaux de haute précision.

Avantages de base:

● Stabilité à haute température: Le graphite de haute pureté lui-même a une excellente stabilité thermique. Après avoir été enduit de revêtement SIC, il peut résister à des environnements extrêmes à température plus élevée et convient aux processus à haute température dans le traitement des semi-conducteurs.

● Coinrésistance aux ions: Le revêtement SIC CVD est résistant à la corrosion acide et alcaline et peut avoir une longue durée de vie dans le processus de MCV.

● Haut hardness et résistance à l'oxydation: Le revêtement SIC CVD a une excellente dureté, une résistance aux rayures et une résistance à l'oxydation à des températures élevées pour maintenir la stabilité du matériau.

● Bonne conductivité thermique: La combinaison du substrat de graphite et du revêtement de revêtement SIC CVD fait que la base a une excellente conductivité thermique, qui peut effectivement entraîner la chaleur et améliorer l'efficacité de la production.

Spécifications du produit:

● Matériel: substrat de graphite + revêtement CVD SIC

● Épaisseur de revêtement: peut être personnalisé en fonction des besoins des clients

● Environnement applicable: température élevée, vide, environnement de gaz corrosif

Service personnalisé:

Nous fournissons des services hautement personnalisés pour répondre aux besoins des différents équipements et processus des clients. Selon l'application spécifique du client, des bases de graphite avec différentes épaisseurs de revêtement, des traitements de surface et des niveaux de précision peuvent être fournis.

Veteksemi a toujours travaillé dans l'industrie du revêtement en carbure de silicium en silicium et possède le niveau de production et la fabrication de base de graphite de revêtement CVD de base de CVD de l'industrie. Si vous avez besoin de plus d'informations sur les produits ou de services personnalisés, veuillez contacter Vetek Semiconductor, nous vous fournirons de tout cœur un soutien professionnel.

Données SEM de CVD SIC Film Crystal Structure:

It semi-conducteurCVD SIC Rebating Graphite Sondor Product Shops: