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Top collecteur de revêtement sic
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Top collecteur de revêtement sic

Bienvenue à Vetek Semiconductor, votre fabricant de confiance de revêtements CVD SIC. Nous sommes fiers d'offrir un haut de collecteur de revêtement Aixtron SIC, qui sont conçus de manière experte en utilisant du graphite de haute pureté et comportent un revêtement SIC CVD à la pointe de la technologie avec une impureté inférieure à 5 ppm. N'hésitez pas à nous contacter avec des questions ou des demandes

Avec des années d'expérience en productionRevêtement TACetRevêtement sic, Vetek Semiconductor peut fournir une large gamme de top à collecteur de revêtement SIC,centre de collection, Bottom collecteurpour le système AIXTRON. Le haut de collecteur de revêtement SIC de haute qualité peut répondre à de nombreuses applications, si vous en avez besoin, veuillez obtenir notre service en ligne en temps opportun sur le haut de collecteur du revêtement SIC. En plus de la liste de produits ci-dessous, vous pouvez également personnaliser votre propre haut de collecteur de revêtement SIC unique en fonction de vos besoins spécifiques.


Le sommet du collecteur de revêtement SIC, le centre de collecteur de revêtement SIC et le bas du collecteur de revêtement SIC sont les trois composants de base utilisés dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Discutons de chaque produit séparément:


Le collecteur du revêtement Vetek Semiconductor SIC joue un rôle crucial dans le processus de dépôt de semi-conducteur. Il agit comme une structure de soutien pour le matériau déposé, aidant à maintenir l'uniformité et la stabilité pendant le dépôt. Il aide également à la gestion thermique, dissipant efficacement la chaleur générée pendant le processus. Le haut du collecteur assure la disposition et la distribution correctes du matériau déposé, entraînant une croissance du film de haute qualité et cohérente.


Le revêtement SIC sur le haut collecteur, le centre de collection, le fond des collectionneurs améliore considérablement leurs performances et leur durabilité.Revêtement sic (carbure de silicium)est connu pour son excellente conductivité thermique, son inertie chimique et sa résistance à la corrosion. Le revêtement SIC en haut, au centre et au bas du collecteur offre d'excellentes capacités de gestion thermique, garantissant une dissipation de chaleur efficace et en maintenant des températures de processus optimales. Il a également une excellente résistance chimique, protégeant les composants des environnements corrosifs et prolongeant leur durée de vie. Les propriétés des revêtements SIC aident à améliorer la stabilité des processus de fabrication de semi-conducteurs, à réduire les défauts et à améliorer la qualité du film.


Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC:

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC
Propriété Valeur typique
Structure cristalline FCC β phase polycristalline, principalement (111) orienté
Densité de revêtement CVD SIC 3,21 g / cm³
Dureté de revêtement sic 2500 Vickers dureté (charge de 500 g)
Taille des grains 2 ~ 10 mm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J · kg-1· K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPA RT 4 points
Module de jeunes 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Conductivité thermique 300W · M-1· K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5 × 10-6K-1


Données SEM du film CVD SIC

SEM DATA OF CVD SIC FILM

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