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Sic en revêtement MOCVD Suscepteur
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Sic en revêtement MOCVD Suscepteur

Le suscepteur MOCVD revêtu de Vetek Semiconductor est un appareil avec un excellent processus, une durabilité et une fiabilité. Ils peuvent résister à des environnements à haute température et chimique, maintenir des performances stables et une longue durée de vie, réduisant ainsi la fréquence de remplacement et de maintenance et d'amélioration de l'efficacité de la production. Notre suscepteur épitaxial MOCVD est réputé pour sa haute densité, son excellente planéité et son excellent contrôle thermique, ce qui en fait l'équipement préféré dans des environnements de fabrication sévères. Au plaisir de coopérer avec vous.welcome pour consulter à tout moment.

Trouvez une vaste sélection de sic enduitSupport MOCVDde la Chine à Vetek Semiconductor. Fournir un service après-vente professionnel et le bon prix, dans l'attente de la coopération.

Traite des semi-conducteursMOCVD Suscepteurs épitaxiauxsont conçus pour résister à des environnements à haute température et à des conditions chimiques difficiles courantes dans le processus de production de la plaquette. Grâce à l'ingénierie de précision, ces composants sont adaptés pour répondre aux exigences strictes des systèmes de réacteurs épitaxiaux. Nos suscepteurs épitaxiaux MOCVD sont faits de substrats de graphite de haute qualité recouverts d'une couche decarbure de silicium (sic), qui a non seulement une excellente résistance à la température et à la corrosion élevée, mais assure également une distribution de chaleur uniforme, ce qui est essentiel pour maintenir un dépôt de film épitaxial cohérent.

De plus, nos suscepteurs de semi-conducteurs ont d'excellentes performances thermiques, ce qui permet un contrôle de température rapide et uniforme pour optimiser le processus de croissance des semi-conducteurs. Ils sont capables de résister à l'attaque de température, d'oxydation et de corrosion élevée, garantissant un fonctionnement fiable même dans les environnements opérationnels les plus difficiles.

De plus, les suscepteurs MOCVD revêtus de SIC sont conçus en mettant l'accent sur l'uniformité, qui est essentiel pour atteindre des substrats monocristaux de haute qualité. The achievement of flatness is essential to achieve excellent single crystal growth on the wafer surface.

Chez Vetek Semiconductor, notre passion pour la dépassement des normes de l'industrie est aussi importante que notre engagement à la rentabilité pour nos partenaires. Nous nous efforçons de fournir des produits tels que le MOCVD Epitaxial Suscepteur pour répondre aux besoins en constante évolution de la fabrication de semi-conducteurs et anticiper ses tendances de développement pour garantir que votre opération est équipée des outils les plus avancés. Nous sommes impatients de créer un partenariat à long terme avec vous et de vous fournir des solutions de qualité.


Paramètre de produit du Sic en revêtement MOCVD Suscepteur:


Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC
Propriété Valeur typique
Structure cristalline FCC β phase polycristalline, principalement (111) orienté
Densité 3,21 g / cm³
Dureté 2500 Vickers dureté (charge de 500 g)
Taille des grains 2 ~ 10 mm
Pureté chimique 99,99995%
Capacité thermique 640 J · kg-1· K-1
Température de sublimation 2700 ℃
Résistance à la flexion 415 MPA RT 4 points
Module de Young 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Conductivité thermique 300W · M-1· K-1
Expansion thermique (CTE) 4,5 × 10-6K-1


CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Données SEM de la structure cristalline du film SIC CVD

Vetek Semiconductor Sic revêtu de MOCVD Boutique de production:

SiC Coated MOCVD Susceptor Production Shop

Aperçu de la chaîne de l'industrie de l'épitaxie des puces semi-conductrices:

semiconductor chip epitaxy industry chain


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