Composants du réacteur planétaire SiC solide Aixtron G10

1. Principales caractéristiques et avantages

• Structure SiC solide entièrement dense et sans liant pour une résistance supérieure à l'usure et à la corrosion

• Excellente conductivité thermique et résistance aux chocs thermiques à des températures supérieures à 1 500 °C

• Génération de particules ultra-faible et pureté élevée, minimisant le risque de contamination

• Inertie chimique exceptionnelle vis-à-vis des gaz de procédé utilisés en épitaxie SiC

• Longue durée de vie sous des cycles répétés à haute température

• Usiné avec précision selon des tolérances dimensionnelles serrées pour un ajustement fiable et une stabilité du processus

 2. Applications typiques

Ces accessoires Solid SiC sont utilisés dans les domaines fonctionnels clés du réacteur Aixtron G10, notamment :

• Plaques de recouvrement et éléments de recouvrement sélectionnés

• Bagues de protection et composants à forte usure

• Goupilles, rondelles et petites pièces structurelles de précision

• Autres inserts personnalisés de haute pureté exposés à un flux de gaz intense ou à une charge thermique

Ils prennent en charge une distribution stable de la température, une distribution de gaz uniforme et une faible densité de défauts lors de la croissance épitaxiale SiC à grand volume pour les MOSFET de puissance, les diodes et les dispositifs à large bande interdite associés.

3. Pourquoi choisir VeTek Solid SiC pour Aixtron G10 ?

En tant que fabricant spécialisé de matériaux de qualité semi-conductrice, VeTek Semiconductor fournit :

• Composants SiC solides de haute pureté adaptés aux systèmes Aixtron G10, par exemple : anneau de couverture, couvercles intérieurs/extérieurs, plaque d'extraction/support, disque satellite, suscepteur.

• Contrôle strict de la pureté et usinage CNC de précision

• Solutions complémentaires, notamment des pièces en graphite revêtues de SiC par CVD et des pièces revêtues de TaC pour une couverture complète du champ thermique

• Conceptions personnalisées adaptées à des conditions de processus et à des configurations de réacteur spécifiques

Nos accessoires Solid SiC aident les clients à maximiser les avantages de productivité de la plate-forme Aixtron G10 (production de tranches élevée, excellente uniformité de l'épaisseur et du dopage et coût de possession compétitif) tout en prolongeant la durée de vie des composants et en réduisant la perte de rendement liée aux particules.