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EP LED Veeco
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EP LED Veeco

Le suscepteur EPI LED Veeco LED de Vetek Semiconductor est conçu pour la croissance épitaxiale des LED rouges et jaunes. Les matériaux avancés et la technologie de revêtement SIC CVD assurent la stabilité thermique du suscepteur, ce qui rend le champ de température uniforme pendant la croissance, la réduction des défauts cristallins et l'amélioration de la qualité et de la cohérence des plaquettes épitaxiales. Il est compatible avec l'équipement de croissance épitaxial de Veeco et peut être intégré de manière transparente dans la ligne de production. La conception précise et les performances fiables aident à améliorer l'efficacité et à réduire les coûts. Dans l'attente de vos demandes.

LED est un dispositif semi-conducteur à l'état solide qui peut convertir l'énergie électrique en lumière visible. En appliquant une tension directe à la jonction P-N, les électrons et les trous sont recombinés à la jonction P-N. Lorsque les électrons passent d'un niveau d'énergie élevé à un faible niveau d'énergie, l'énergie est libérée, qui est émise sous la forme de photons, générant ainsi la lumière. Différents matériaux semi-conducteurs émettent différentes couleurs de lumière. LED a une efficacité lumineuse élevée et peut convertir directement la plupart des énergies électriques en énergie lumineuse. Il a généralement une longue durée de vie et est très respectueux de l'environnement.


Working diagram of VEECO LED EPI Susceptor

Le phosphure d'indium de gallium en aluminium (AlgainP) est le principal matériau pour fabriquer des LED rouges et jaunes. En ajustant le rapport de composition de l'aluminium (AL), du gallium (GA), de l'indium (in) et du phosphore (P) dans le matériau, la bande interdite du matériau peut être modifiée, atteignant ainsi des émissions légères du rouge au jaune. Dans le processus de fabrication, la croissance épitaxiale est une étape clé. Algainp Epitaxy adopte généralementTechnologie de dépôt de vapeur chimique en métal (MOCVD). Lors de la croissance de la couche épitaxiale de LED rouge, le rapport et les conditions de réaction des matières premières telles que le triméthylaminium, le triméthylgallium, le triméthylindium et la phosphine sont contrôlés afin que le matériau final puisse émettre une lumière rouge.


Même la distribution et le contrôle efficace de la chaleur sont essentiels dans le processus de croissance épitaxiale des LED rouges et jaunes. Le suscepteur EPI LED Veeco LED de Vetek Semiconductor a une excellente conductivité thermique, qui peut entraîner rapidement et uniformément la chaleur pour assurer une déviation minimale dans l'uniformité de la température sur toute la surface de la plaquette. Améliorez considérablement le taux de croissance et la qualité de l'épilaire.


Utilisation de SGL Graphite et avancéRevêtement CVD sicTechnology, Vetek Semiconductor's Veeco LED EPI S-Susceptor a une excellente durabilité. Il est indiscernable du suscepteur d'origine dans la plus grande mesure. Il maintient toujours la stabilité au cours des processus de production MOCVD à long terme à haute intensité. Le suscepteur EPI LED de Vetek semi-conducteur de Vetek démontre une forte résistance à la corrosion et à la déformation. Cela signifie que les entreprises n'ont pas besoin de remplacer fréquemment le suscepteur, réduisant considérablement le coût de maintenance et les temps d'arrêt des équipements de production.


Vetek Semiconductor considère pleinement les besoins individuels de différents clients dans le processus de fabrication LED rouge et jaune. Vetek Semiconductor peut fournir des solutions de suscepteur EPI LED Veeco personnalisées pour la production de tailles spécifiques ou des paramètres de processus spéciaux.


L'équipe technique professionnelle de Vetek Semiconductor communiquera avec les clients en profondeur pour adapter les produits de sensence les plus appropriés en fonction de leurs scénarios d'application spécifiques, des configurations d'équipement et des objectifs de production, aidant les entreprises à réaliser des percées technologiques et des mises à niveau de produits.


Données SEM du film de revêtement CVD SIC:

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC:

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC
Propriété
Valeur typique
Structure cristalline
FCC β phase polycristalline, principalement (111) orienté
Densité de revêtement
3,21 g / cm³
Dureté de revêtement sic 2500 Vickers dureté (charge de 500 g)
Taille des grains
2 ~ 10 mm
Pureté chimique
99,99995%
CVD SIC revêtement capable de chaleur
640 J · kg-1· K-1
Température de sublimation
2700
Résistance à la flexion
415 MPA RT 4 points
Module de jeunes
430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Conductivité thermique
300W · M-1· K-1
Expansion thermique (CTE)
4,5 × 10-6K-1

Vetek Semiconductor Veeco LED EPI Sosceptor Products Shops:

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