Pomme de douche en forme de disque solide

Le rôle de la pomme de douche en forme de disque SIC solide dans le processus de MCV est de répartir uniformément le gaz de réaction au-dessus de la zone de dépôt afin que le gaz puisse être diffusé uniformément dans tout le réacteur pour obtenir un film plat et uniforme.

La pomme de douche SIC solide est placée en haut du four CVD ou près de l'entrée à gaz. Le gaz de réaction pénètre dans la structure en forme de disque à travers les trous distribués sur la pomme de douche et se diffuse le long de la surface de la pomme de douche. Grâce à la conception de canaux multiples et aux prises uniformément distribuées, le gaz de réaction peut s'écouler uniformément vers l'ensemble de la zone du réacteur, en évitant la concentration ou la turbulence, et assurer la cohérence de l'épaisseur de la couche déposée sur le substrat.

Dans le même temps, la structure de la pomme de douche de forme de disque semi-conducteur a également un effet de diffusion, qui peut réduire efficacement le débit du gaz, afin qu'il puisse être diffusé uniformément à la sortie de la buse et réduire l'impact des changements de débit de gaz locaux sur l'effet de dépôt. Il aide à éviter l'impact direct sur le gaz sur le substrat et à empêcher le problème du dépôt inégal.

Du point de vue des matériaux, la pomme de douche à gaz SIC solide est composée de matériaux solides solides résistants à haute température, résistants à la corrosion et à haute résistance avec une stabilité très élevée. Il peut fonctionner de manière stable pendant longtemps dans la fournaise CVD et a une longue durée de vie.

Vetek Semiconductor fournit des services personnalisés de haute qualité. La disposition de forme et de trous de la pomme de douche en forme de disque SIC peut être ajustée de manière flexible en fonction des exigences du processus du client pour s'adapter à différents types de gaz, débits et matériaux de dépôt. Pour différentes tailles de réacteurs ou de tailles de substrat, les pommes de douche en forme de disque avec différents diamètres et distributions de trous peuvent être personnalisées pour optimiser l'effet de distribution du gaz.

Vetek Semiconductor a des processus matures et des technologies avancées pour les produits de douche semi-conducteurs solides en sic, aidant un grand nombre de clients à réaliser des progrès continus dans les processus de MCV. Vetek Semiconductor a hâte de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Propriétés physiques du sic solide

It semi-conducteurBoutiques de production de pomme de douche en forme de disque solide SIC