Procédé de croissance monocristalline SIC

Produit de Veteksemicon, lerevêtement en carbure de tantale (TAC)Les produits pour le processus de croissance monocristalline SIC relèvent les défis associés à l'interface de croissance des cristaux de carbure de silicium (SIC), en particulier les défauts complets qui se produisent au bord du cristal. En appliquant un revêtement TAC, nous visons à améliorer la qualité de la croissance des cristaux et à augmenter la zone efficace du centre du cristal, ce qui est crucial pour atteindre une croissance rapide et épaisse.

Le revêtement TAC est une solution technologique centrale pour augmenterSic processus de croissance monocristal. Nous avons réussi à développer une technologie de revêtement TAC en utilisant le dépôt de vapeur chimique (CVD), qui a atteint un niveau avancé international. Le TAC a des propriétés exceptionnelles, y compris un point de fusion élevé jusqu'à 3880 ° C, une excellente résistance mécanique, de la dureté et une résistance aux chocs thermiques. Il présente également une bonne inertie chimique et une stabilité thermique lorsqu'elles sont exposées à des températures et des substances élevées telles que l'ammoniac, l'hydrogène et la vapeur contenant du silicium.

Vekekemiconrevêtement en carbure de tantale (TAC)Offre une solution pour résoudre les problèmes liés aux bords dans le processus de croissance monocristallin SIC, améliorant la qualité et l'efficacité du processus de croissance. Avec notre technologie avancée de revêtement TAC, nous visons à soutenir le développement de l'industrie des semi-conducteurs de troisième génération et à réduire la dépendance à l'égard des matériaux clés importés.

Méthode Pvt SIC Processus de croissance monocristallière Pièces de rechange:

Crucible enduit de TAC, support de graines avec revêtement TAC, cycle de guidage de revêtement TAC sont des parties importantes dans la méthode SIC et monocristal AIN par méthode PVT.

● Résistance à haute température

●  La haute pureté, ne polluera pas les matières premières SIC et les monocristaux SIC.

●  Résistant à la vapeur Al et n₂corrosion

●  Température eutectique élevée (avec ALN) pour raccourcir le cycle de préparation des cristaux.

●  Recyclable (jusqu'à 200h), il améliore la durabilité et l'efficacité de la préparation de ces monocristaux.