Pot de cloche de quartz semi-conducteur

GrainesSemi-conducteurPot à cloche en quartzjoue plusieurs rôles clés dans le traitement des semi-conducteurs. le système de vide en clochefournit non seulement un environnement de réaction stable et contrôlé, mais garantit également l'efficacité et la précision de divers processus grâce à son excellente stabilité thermique, son inertie chimique et sa transparence optique. Ces caractéristiques déterminent également quechambre à vide en forme de clocheest un composant indispensable dans le processus de fabrication des semi-conducteurs.

BotteQuartz semi-conducteur crée un environnement de traitement scellé qui permet aux gaz de traitement d'être répartis uniformément et de réagir avec la surface de la plaquette dans des conditions contrôlées. Donc,Pot de cloche de quartz semi-conducteurest généralement utilisé dans des processus tels que les MCV, la diffusion et l'oxydation pour contrôler avec précision la composition et la pression de l'atmosphère, assurant ainsi l'uniformité du film et la pureté du matériau.

Dans le même temps, les matériaux de quartz ont une excellente stabilité thermique, une résistance à haute température (l'environnement à haute température dans le traitement des semi-conducteurs est généralement élevé que 1000 ° C ou plus) et les caractéristiques des produits du maintien de la forme et de la taille stables pendant le chauffage et le refroidissement. Cela détermine que lePot à cloche en quartzPeut assurer pleinement l'uniformité de la température de surface de la tranche dans l'environnement à haute température de diffusion et d'oxydation, améliorant ainsi la qualité et l'uniformité de la couche déposée ou diffusée.

Plus important encore,Quartz de haute pureté Vetek Semiconductor n'est pas facile à réagir avec les gaz de processus dans des environnements à haute température et a une forte résistance à la corrosion. Cette caractéristique du produit détermine que dans les processus à l'aide de gaz corrosifs (comme certains processus de MCV),Pot de cloche de quartz semi-conducteurpeut maintenir pleinement la stabilité chimique, évitant ainsi la contamination des dispositifs semi-conducteurs.

It semi-conducteurPot à cloche en quartz:

Aperçu de la chaîne industrielle de l’épitaxie des puces semi-conductrices: