Piédestal à quartz fondu ALD

Le socle à quartz fondu VeTek Semiconductor ALD joue un rôle clé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs en tant que structure de support pour lebateau à quartz, qui est utilisé pour contenir letranche. Le piédestal à quartz fusionné aide à atteindre un dépôt de film uniforme en maintenant une température stable, ce qui affecte directement les performances et la fiabilité des dispositifs semi-conducteurs. De plus, le piédestal quartz assure une distribution uniforme de la chaleur et de la lumière dans la chambre de processus, améliorant ainsi la qualité globale du processus de dépôt.

ALD Avantages de matériaux de piédestal à quartz fusionné

Résistance aux hautes températures: Le point d'adoucissement du piédestal à quartz fusionné est aussi élevé que 1730 ° C, et il peut résister à un fonctionnement à haute température de 1100 ° C à 1250 ° C pendant une longue période et peut être exposé à des environnements de température extrêmes jusqu'à 1450 ° C pendant une courte période.

Excellente résistance à la corrosion: Le quartz fusionné est très chimiquement inerte à presque tous les acides sauf l'acide hydrofluorique. Sa résistance à l'acide est 30 fois plus élevée que la céramique et 150 fois plus élevée que l'acier inoxydable. Le quartz fusionné est chimiquement inégalé à des températures élevées, ce qui en fait un matériau idéal pour des processus chimiques complexes.

Stabilité thermique: Une caractéristique clé du matériau de piédestal à quartz fusionné est son coefficient extrêmement faible d'expansion thermique. Cela signifie qu'il peut facilement gérer les fluctuations de température spectaculaires sans se fissurer. Par exemple, le quartz de silice fondu peut être rapidement chauffé à 1100 ° C et immergé directement dans l'eau froide sans dommage, une caractéristique importante dans les conditions de fabrication à forte stress.

Processus de fabrication rigoureux: Le processus de production des socles en silice fondue respecte strictement des normes de qualité élevées. Le processus de production utilise des procédés de formage à chaud et de soudage, qui sont généralement réalisés dans un environnement de salle blanche de classe 10 000. Ensuite, le socle en verre de quartz fondu est soigneusement nettoyé avec de l'eau ultra pure (18 MΩ) pour garantir la pureté du produit et des performances optimales. Chaque produit fini est rigoureusement inspecté, nettoyé et emballé dans une salle blanche de classe 1 000 ou supérieure pour répondre aux normes élevées de l'industrie des semi-conducteurs.

Matériau de quartz de silice opaque de haute pureté

Le socle à quartz fondu VeTeksemi ALD utilise un matériau de quartz opaque de haute pureté pour isoler efficacement la chaleur et la lumière. Ses excellentes propriétés de protection thermique et de protection contre la lumière lui permettent de maintenir une répartition uniforme de la température dans la chambre de traitement, garantissant ainsi l'uniformité et la consistance des produits minces.dépôt de filmsur la surface de la tranche.

Champs d'application

Les socles en quartz fondu sont largement utilisés dans de nombreux domaines de l'industrie des semi-conducteurs en raison de leurs excellentes performances. Dans leProcessus de dépôt de couche atomique (ALD), il prend en charge un contrôle précis de la croissance du film et assure l'avancement des dispositifs semi-conducteurs. Dans leProcessus de dépôt chimique à basse pression (LPCVD), la stabilité thermique et la capacité de protection contre la lumière du socle en quartz de haute pureté garantissent un dépôt uniforme de films minces, améliorant ainsi les performances et le rendement du dispositif.

De plus, dans le processus de tranche de diffusion, la résistance à haute température et la résistance à la corrosion chimique du piédestal de quartz fusionné garantissent la fiabilité et la cohérence du processus de dopage du matériau de semi-conducteur. Ces processus clés déterminent les performances électriques des dispositifs semi-conducteurs, et les matériaux de quartz fusionnés de haute qualité jouent un rôle indispensable dans la réalisation des meilleurs résultats de ces processus.

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