Tube de four à quartz pour four à diffusion

1. Principales caractéristiques et avantages

• Quartz fondu déshydroxylé de très haute pureté (SiO₂ ≥ 99,999 %) avec des impuretés métalliques contrôlées à des niveaux de ppb et une teneur en hydroxyle extrêmement faible.

• Température de fonctionnement à long terme jusqu'à 1 100 °C ; résistance maximale à court terme jusqu'à 1200 °C

• Excellente résistance aux chocs thermiques après un recuit de détente complet : résistance à la fissuration sous des changements rapides de température

• Inertie chimique exceptionnelle contre les gaz de procédé oxydants, réducteurs et contenant des halogènes ; adapté aux atmosphères plasma et corrosives

• Très faible dégazage sous vide ; la paroi intérieure lisse minimise l'accumulation de sous-produits et favorise la répétabilité du processus

• Formage monobloc avec une épaisseur de paroi uniforme, une coaxialité élevée et des extrémités finies avec précision pour une étanchéité fiable

• Structures personnalisables : tubes droits, tubes réducteurs, tubes à brides, longueurs allongées et configurations d'extrémité spéciales pour fours verticaux ou horizontaux

2. Applications typiques

Les tubes de four à quartz VeTek sont largement utilisés comme chambre de réaction centrale dans :

• Fours d'oxydation thermique (oxydation sèche/humide)

• Fours à diffusion pour introduction de dopants (B, P, As, etc.)

• Systèmes LPCVD pour le dépôt de couches minces

• Recuit sous vide et autres procédés de traitement thermique à haute température

• Compatible avec les plates-formes de plaquettes de 4 pouces, 6 pouces, 8 pouces et 12 pouces (substrats Si, SiC, GaN, saphir)

Ils prennent en charge les lignes de fabrication de logique, de mémoire, de dispositifs d'alimentation, de MCU, de LED, de MEMS et de semi-conducteurs à large bande interdite qui nécessitent une uniformité de température stable, un contrôle du flux de gaz et des environnements de processus ultra-propres.

3. Paramètres techniques clés

• Matériau : quartz fondu déshydroxylé de qualité semi-conducteur (SiO₂ ≥ 99,999 %), faible teneur en hydroxyle, faible impureté métallique.

• Compatibilité des plaquettes : 4/6/8/12 pouces

• Température de travail à long terme : −20 °C à 1 100 °C ; pic à court terme jusqu'à 1200 °C

• Processus : thermoformage d'une seule pièce, homogénéisation des parois, finition des extrémités, recuit de détente, test d'étanchéité à l'hélium, nettoyage ultra-propre

• Structures disponibles : tube droit, tube réducteur, tube à bride, tube rallongé/sur mesure, configurations d'extrémité spéciales

• Personnalisation : diamètre intérieur/extérieur, longueur, épaisseur de paroi, spécifications de bride et géométries spéciales selon les dessins du client

4. Pourquoi choisir les tubes de four à quartz VeTek ?

En tant que fabricant professionnel de composants semi-conducteurs en quartz, VeTek Semiconductor propose :

• Tubes de four en quartz de haute pureté conçus pour les équipements d'oxydation, de diffusion, de LPCVD et de recuit

• Contrôle strict de la pureté, précision dimensionnelle et propreté adaptés à la production en salle blanche de classe 10/classe 100

• Personnalisation complète et conceptions compatibles OEM pour les fours tubulaires verticaux et horizontaux

• Produits à base de quartz semi-conducteurs complémentaires, notamment des bateaux à plaquettes, des creusets, des revêtements et d'autres composants de processus.

Nos tubes de four à quartz aident à maintenir des conditions thermiques et de flux de gaz stables, à minimiser la contamination par les particules et les métaux et à prolonger la durée de vie sous des cycles continus à haute température, ce qui permet un rendement plus élevé et un coût de possession inférieur dans le traitement thermique des semi-conducteurs.