Service de nettoyage de pièces en graphite avec revêtement CVD SiC

1. Les défis auxquels vous pourriez être confronté

• Couche AlN difficile à retirer :Le nettoyage thermique à 1 300 °C ne peut toujours pas graver efficacement la couche d’AlN résiduelle.

• Effet mémoire récurrent :L’effet mémoire de surface provoque un flux de gaz instable dans le réacteur, ce qui a un impact sur la cohérence du processus.

• Impact du cycle de nettoyagets Débit :En règle générale, tous les 16 cycles de processus (4 à 5 suscepteurs) nécessitent un nettoyage externe.

• Préoccupation concernant l'endommagement d'un revêtement coûteux :Le manque d’expérience en interne en matière de nettoyage chimique fait que les opérateurs hésitent à tenter un nettoyage agressif.

2. Notre solution – Conçue pour les procédés GaN/AlN/AlGaN

• Nettoyage professionnel :Processus personnalisé spécifiquement développé pour les pièces en graphite revêtues CVD SiC. Aucune formule chimique requise de la part du client.

• Sécurité du revêtement :Protège strictement le revêtement CVD SiC de 100 µm. Aucune perte d’épaisseur absolue après nettoyage.

• Résultats vérifiables :Certificat d’analyse complet (COA) couvrant cinq dimensions principales. Données prêtes pour l’archivage et l’audit qualité.

3. Cinq critères d'acceptation fondamentaux

Strictement aligné sur les exigences critiques des utilisateurs d’épitaxie de semi-conducteurs :

1. Zéro perte de revêtement– L’épaisseur du revêtement SiC n’est jamais réduite après le nettoyage (vérification de comparaison d’épaisseur pré/post).

2. Aucune déformation de surface– La planéité et la précision géométrique sont strictement contrôlées pour garantir l’absence de déformation physique.

3. Éliminer l’effet mémoire– L’analyse XPS des résidus Al/Ga confirme la suppression complète des sources d’effet mémoire.

4. Zéro résidu de métal– Les tests ICP-MS pour Fe, Cu, Ni et autres métaux vérifient l’absence d’impuretés métalliques résiduelles.

5. Pas de particules en excès– Le test de particules QIII et la vérification de la propreté évitent l’instabilité du flux de gaz causée par les particules résiduelles.

4. Inspection de livraison et rapport COA

Chaque lot est livré avec des données de vérification complètes sur cinq dimensions principales :

5. Produits applicables et contexte du processus

Paramètres du produit

Processus de service

1. Enquête– Envoyer des photos de pièces/modèle/quantité pour évaluation.

2. Devis– Évaluation technique et proposition de nettoyage détaillée avec devis.

3. Expédition– Expédiez-nous les pièces ou organisez un service de ramassage.

4. Nettoyage– Nettoyage professionnel + inspection multidimensionnelle complète.

5. Rapport– Rapport COA émis et pièces nettoyées retournées.

6. Suivi– Suivi des effets et support technique continu.

6. Pourquoi choisir le service de nettoyage VETEK ?

VETEK combine une expertise approfondie dans la technologie de revêtement CVD SiC avec des capacités de nettoyage spécialisées pour les suscepteurs en graphite de grande valeur. Nous comprenons l’importance cruciale de l’intégrité du revêtement, du contrôle des particules et de la pureté du processus dans l’épitaxie GaN/AlN. Notre service est conçu pour les clients qui exigent une sécurité absolue pour les revêtements CVD SiC coûteux tout en résolvant complètement les problèmes d'effet mémoire et d'instabilité du flux de gaz.

· Nettoyage d'essai disponible pour la vérification de petits lots

· Rapport COA complet fourni avec chaque livraison

· Aucun risque d'endommagement du revêtement ou de nouvelle contamination

· Professionnel · Sûr · Vérifiable