Matière première CVD SIC à haute pureté

Deal SemiconontorMatière première monocristalline SIC- matière première CVD SIC de haute pureté. Ce produit comble l'écart intérieur et est également au niveau du premier plan dans le monde, et sera dans une position de premier plan à long terme dans la compétition. Les matières premières traditionnelles en carbure de silicium sont produites par la réaction du silicium de haute pureté etgraphite, qui sont à un coût élevé, faible en pureté et en petite taille. 

La technologie du lit fluidisé de Vetek Semiconductor utilise le méthyllorosilane pour générer des matières premières en carbure de silicium par le dépôt de vapeur chimique, et le principal sous-produit est l'acide chlorhydrique. L'acide chlorhydrique peut former des sels en neutralisant avec de l'alcali et ne provoquera aucune pollution à l'environnement. Dans le même temps, le méthyllorosilane est un gaz industriel largement utilisé avec un coût à faible coût et à des sources larges, en particulier la Chine est le principal producteur de méthyllorosilane. Par conséquent, les matières premières SIC à haute pureté de Vetek Semiconductor de Vetek ont ​​une compétitivité internationale en termes de coût et de qualité.99,9995%.

Avantages de la matière première CVD SIC de haute pureté

 ● Grande taille et haute densité

La taille moyenne des particules est d'environ 4 à 10 mm et la taille des particules des matières premières domestiques Acheson est <2,5 mm. Le même Crucible en volume peut contenir plus de 1,5 kg de matières premières, ce qui est propice à la résolution du problème de l'approvisionnement insuffisant de matériaux de croissance cristalline de grande taille, atténuant la graphitisation des matières premières, réduisant l'engagement du carbone et améliorant la qualité des cristaux.

 ●Ratio Si / C faible

Il est plus proche de 1: 1 que les matières premières Acheson de la méthode d'auto-copain, ce qui peut réduire les défauts induits par l'augmentation de la pression partielle de SI.

 ●Valeur de sortie élevée

Les matières premières cultivées maintiennent toujours le prototype, réduisent la recristallisation, réduisent la graphitisation des matières premières, réduisent les défauts d'emballage du carbone et améliorent la qualité des cristaux.

● Pureté plus élevée

La pureté des matières premières produites par la méthode CVD est plus élevée que celle des matières premières Acheson de la méthode d'auto-propagation. La teneur en azote a atteint 0,09 ppm sans purification supplémentaire. Cette matière première peut également jouer un rôle important dans le domaine semi-isolant.

● Coût inférieur

Le taux d'évaporation uniforme facilite le contrôle de la qualité du processus et du produit, tout en améliorant le taux d'utilisation des matières premières (taux d'utilisation> 50%, 4,5 kg de matières premières produit des lingots de 3,5 kg), réduisant les coûts.

 ●Faible taux d'erreur humain

Le dépôt de vapeur chimique évite les impuretés introduites par l'opération humaine.

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