Quartz opaque fondu

Le quartz opaque fondu est principalement fabriqué par fusion électrique, qui utilise un chauffage électrique à haute température pour faire fondre du sable de quartz de haute pureté afin de produire du verre de quartz avec un grand nombre de microbulles aux propriétés opaques. Le quartz fondu électrique contient un grand nombre de petites bulles à l’intérieur, ce qui le rend opaque et aide à réfléchir et à disperser la chaleur. De plus, il présente une résistance à haute température, une faible conductivité thermique, une bonne stabilité chimique, etc. Ces caractéristiques font du quartz opaque fondu un choix de matériau idéal pour divers processus de fabrication de semi-conducteurs. 

À l'heure actuelle, le quartz opaque dispose de nombreuses applications clés dans le champ semi-conducteur:

● Tubes de fournaise dans les processus de diffusion et d'oxydation

Le quartz opaque fusionné peut être utilisé comme matériaux de tube de fournaise pour les fours de diffusion et les fours à oxydation. Sa résistance à haute température, sa résistance aux chocs thermiques et sa bonne stabilité chimique garantissent que les propriétés chimiques stables peuvent être maintenues à des températures élevées, fournissant ainsi un environnement sans pollution et garantissant la stabilité et la cohérence des processus semi-conducteurs.

● Plaques de masque et matériaux d'isolement

Dans le traitement des semi-conducteurs, le quartz opaque fusionné peut être utilisé comme plaques de masque et matériaux d'isolement. En raison de son opacité et de sa faible transmittance de la lumière, il peut bloquer efficacement la lumière et la chaleur inutiles, empêchant le rayonnement thermique généré dans le processus de diffusion de dopage et d'oxydation d'affecter d'autres parties. Ceci est particulièrement important pour contrôler avec précision le dopage et la protection des zones sensibles.

●  Creusets et hottes chauffantes

Pendant le processus de tirage des tranches semi-conductrices, les creusets en quartz fondu sont utilisés pour contenir du silicium fondu à haute température en raison de leur excellente résistance aux températures élevées et de leur faible conductivité thermique. Une faible conductivité thermique peut réduire la perte de chaleur, rendre le chauffage plus uniforme et assurer la stabilité de l'extraction du monocristal. Les hottes chauffantes en quartz opaque fondu sont utilisées pour l'isolation thermique, empêchant les pertes de chaleur et améliorant l'efficacité énergétique.

●  Matériaux de support dans le dépôt chimique en phase vapeur (CVD)

Au cours du processus de dépôt chimique en phase vapeur, du quartz opaque fondu est utilisé comme matériau de support de tranche. Sa faible conductivité thermique et sa résistance aux températures élevées aident à maintenir un champ de température stable et à éviter la surchauffe ou un chauffage inégal. L'inertie chimique garantit qu'il ne réagira pas avec les gaz réactifs à haute température, maintenant ainsi la pureté et la qualité de la couche déposée.

●  Composants de protection thermique et d'isolation

L'équipement de fabrication de semi-conducteurs doit souvent fonctionner en continu à des températures élevées, et la faible conductivité thermique et la résistance aux chocs thermiques du quartz opaque fusionné en font un composant de protection thermique et d'isolation idéal. L'utilisation de quartz opaque fusionné comme matériau de protection thermique peut réduire efficacement la perte d'énergie et empêcher le transfert de la chaleur de l'équipement vers d'autres zones, protégeant ainsi les pièces de précision.

●  Matériaux de protection dans les équipements de gravure et de nettoyage

Le quartz opaque fusionné a une résistance à l'acide et aux alcalins extrêmement forte, ce qui en fait un matériau protecteur dans l'équipement de gravure et de nettoyage des semi-conducteurs pour empêcher les produits chimiques corrosifs d'endommager l'équipement. Son inertie chimique l'aide également à rester stable dans des environnements chimiques difficiles et à prolonger la durée de vie de l'équipement.

●  Matériau du masque de photolithographie

Les propriétés opaques du quartz opaque fondu peuvent être utilisées comme matériau de masque dans des processus de photolithographie spécifiques pour aider à contrôler avec précision la zone d'exposition et empêcher un excès de lumière d'affecter les zones sensibles de la tranche.

Ces propriétés du quartz opaque fusionné en font un matériau clé dans les processus de haute précision et à haute température. Avec le développement continu de dispositifs et de processus semi-conducteurs, le quartz opaque fusionné continuera à jouer un rôle important dans la prochaine génération de technologies de fabrication pour répondre aux exigences de processus plus strictes.

En tant que fournisseur et fabricant professionnel de quartz opaque fondu en Chine, VeTek Semiconductor est disposé et capable de fournir à ses clients du quartz opaque fondu de haute qualité et attend avec impatience votre demande. Nous espérons sincèrement devenir votre partenaire à long terme en Chine.

Voirk semi-conducteur fusionné

Figure a. Transmittance du quartz opaque fusionné                                                           Figure b. Réflectivité du quartz opaque fondu

Voirk semi-conducteurs fusionnés