Bague de revêtement CVD SiC

Il y a de nombreuses petites pièces dans les pièces demi-lune, et la bague de revêtement sic en fait partie. En appliquant une couche deRevêtement CVD sicsur la surface d'un anneau en graphite de haute pureté par méthode CVD, nous pouvons obtenir un anneau de revêtement CVD SiC. L'anneau de revêtement SiC avec revêtement SiC possède d'excellentes propriétés telles qu'une résistance à haute température, d'excellentes propriétés mécaniques, une stabilité chimique, une bonne conductivité thermique, une bonne isolation électrique et une excellente résistance à l'oxydation. Anneau de revêtement CVD SiC et revêtement SiCentrepreneurtravailler ensemble.

Anneau de revêtement SiC et coopérantentrepreneur

Les fonctions de l'anneau de revêtement CVD SiC :

  ●   Distribution de débit: La conception géométrique de l'anneau de revêtement SIC aide à former un champ d'écoulement de gaz uniforme, afin que le gaz de réaction puisse couvrir uniformément la surface du substrat, assurant une croissance épitaxiale uniforme.

  ●  Échange thermique et uniformité de la température: L'anneau de revêtement CVD SiC offre de bonnes performances d'échange thermique, maintenant ainsi une température uniforme de l'anneau de revêtement CVD SiC et du substrat. Cela peut éviter les défauts cristallins causés par les fluctuations de température.

  ●  Blocage d'interface: Le cycle de revêtement CVD SIC peut limiter la diffusion des réactifs dans une certaine mesure, de sorte qu'ils réagissent dans une zone spécifique, favorisant ainsi la croissance de cristaux SIC de haute qualité.

  ●  Fonction de support: Le cycle de revêtement CVD SIC est combiné avec le disque ci-dessous pour former une structure stable pour empêcher la déformation dans un environnement de température et de réaction élevée, et maintenir la stabilité globale de la chambre de réaction.

Vetek Semiconductor s'engage toujours à fournir aux clients des anneaux de revêtement CVD de haute qualité et à aider les clients à compléter les solutions aux prix les plus compétitifs. Peu importe le type de bague de revêtement CVD sic dont vous avez besoin, n'hésitez pas à consulter Vetek Semiconductor!

Données SEM du film CVD SIC Structure en cristal:

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SiC :