Suscepteur en graphite à revêtement CVD SiC pour support de plaquette

1. Avantages du produit

• Matériau de haute pureté :Le matériau graphite de qualité semi-conducteur et la structure dense du revêtement SiC minimisent les risques de contamination et améliorent la fiabilité du suscepteur en graphite recouvert de SiC CVD.
• Excellente uniformité thermique :La structure en graphite optimisée et le revêtement SiC assurent un transfert de chaleur stable et un contrôle uniforme de la température des plaquettes.
• Résistance chimique supérieure :Le revêtement SiC dense offre une forte résistance aux gaz de procédé et aux environnements corrosifs.
• Longue durée de vie :Une dureté et une résistance à l'usure élevées améliorent la durabilité dans des conditions d'épitaxie à haute température.
• Faible génération de particules :La surface dense CVD SiC réduit la libération de particules et améliore la fiabilité du processus de fabrication des plaquettes.
• Capacité de conception personnalisée :Disponible en différentes tailles, structures et configurations selon les exigences de l'équipement.

2. Spécifications techniques

3. Candidatures

• Processus d'épitaxie SiC :Le suscepteur en graphite est utilisé comme support de tranche dans les équipements d'épitaxie SiC, supportant les substrats SiC pendant la croissance épitaxiale à haute température.
• Processus d'épitaxie de silicium :Appliqué dans les réacteurs épitaxiaux de silicium pour supporter des tranches et maintenir des conditions thermiques stables.
• Epitaxie MOCVD :Les suscepteurs en graphite VETEK conviennent au MOCVD, à l'épitaxie LED, à l'épitaxie GaN, à l'épitaxie silicium et à d'autres procédés de fabrication de semi-conducteurs nécessitant une excellente uniformité thermique et stabilité chimique.
• Équipement de fabrication de semi-conducteurs :Compatible avec diverses plates-formes d'épitaxie, notamment les fours horizontaux LPE, Aixtron, NuFlare et les équipements semi-conducteurs associés.

4. Pourquoi choisir VETEK ?

VETEK propose des solutions personnalisées de suscepteurs en graphite à revêtement CVD SiC intégrant des capacités de purification du graphite, d'usinage de précision, de revêtement CVD et d'inspection. Nos produits suscepteurs en graphite de qualité semi-conducteur se caractérisent par une pureté élevée, une épaisseur de revêtement uniforme, d'excellentes performances thermiques et une longue durée de vie pour les applications exigeantes sur les supports de tranches.