Revêtement en carbure de silicium

La plaque support en carbure de silicium Veteksemicon pour la gravure LED, spécialement conçue pour la fabrication de puces LED, est un consommable essentiel dans le processus de gravure. Fabriqué à partir de carbure de silicium de haute pureté fritté avec précision, il offre une résistance chimique exceptionnelle et une stabilité dimensionnelle à haute température, résistant efficacement à la corrosion causée par les acides forts, les bases et le plasma. Ses propriétés de faible contamination garantissent des rendements élevés pour les plaquettes épitaxiales LED, tandis que sa durabilité, bien supérieure à celle des matériaux traditionnels, aide les clients à réduire les coûts d'exploitation globaux, ce qui en fait un choix fiable pour améliorer l'efficacité et la cohérence du processus de gravure.

La bague de mise au point en SiC solide Veteksemi améliore considérablement l'uniformité de la gravure et la stabilité du processus en contrôlant avec précision le champ électrique et le flux d'air au bord de la tranche. Il est largement utilisé dans les processus de gravure de précision pour le silicium, les diélectriques et les matériaux semi-conducteurs composés, et constitue un élément clé pour garantir le rendement de la production de masse et le fonctionnement fiable des équipements à long terme.

La tête de douche en graphite enrobée de CVD SIC de VetekSeMICON est un composant haute performance spécialement conçu pour les processus de dépôt chimique de vapeur parmi les semi-conducteurs (CVD). Fabriqué à partir de graphite de haute pureté et protégé par un revêtement en carbure de silicium (CVD) en carbure de vapeur chimique (CVD), cette pomme de douche offre une durabilité exceptionnelle, une stabilité thermique et une résistance aux gaz de processus corrosifs. Dans l'attente de votre nouvelle consultation.

Le support de plaquette de revêtement en carbure de silicium par VeteKemicon est conçu pour la précision et les performances dans les processus avancés de semi-conducteurs tels que le MOCVD, le LPCVD et le recuit à haute température. Avec un revêtement SIC CVD uniforme, ce support de plaquette assure une conductivité thermique exceptionnelle, une inertie chimique et une résistance mécanique - essentiel pour le traitement de plaquette à haut rendement sans contamination.

Anneaux de bord SIC VetekSeMICON à haute pureté, spécialement conçus pour l'équipement de gravure semi-conducteur, comporte une résistance à la corrosion exceptionnelle et une stabilité thermique, améliorant considérablement le rendement de la plaquette

En tant que premier fabricant chinois et fournisseur de produits de revêtement en carbure de silicium, le porte-plaquette en revêtement SIC de VetekSEMICON pour la gravure joue un rôle de base irremplaçable dans le processus de gravure avec son excellente stabilité à haute température, sa résisté à la corrosion exceptionnelle et sa conductivité thermique élevée.