Suscepteur à revêtement MOCVD SiC

Paramètres techniques

STRUCTURE CRISTALLINE DU FILM CVD SIC

Définition et composition du produit

Le suscepteur revêtu de SiC VETEK MOCVD est un composant porteur de tranche haut de gamme conçu spécifiquement pour le traitement épitaxial de semi-conducteurs de troisième génération, tels que GaN et SiC. Ce produit intègre les propriétés physiques supérieures de deux matériaux haute performance :

Substrat graphite de haute pureté: Fabriqué à l'aide d'une technologie de pressage isostatique pour garantir que le matériau de base possède une intégrité structurelle, une densité élevée et une stabilité de traitement thermique exceptionnelles.

Revêtement CVD SiC: Une couche protectrice dense et sans contrainte en carbure de silicium (SiC) est développée sur la surface du graphite grâce à la technologie avancée de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).

Pourquoi VETEK est votre garantie de rendement

Précision ultime dans le contrôle de l'uniformité thermique: Contrairement aux supports conventionnels, les suscepteurs VETEK réalisent un transfert de chaleur hautement synchronisé sur toute la surface grâce à un contrôle de précision à l'échelle nanométrique de l'épaisseur du revêtement et de la résistance thermique. Cette gestion thermique sophistiquée minimise efficacement l'écart type de longueur d'onde (STD) sur la surface de la tranche, améliorant ainsi considérablement la qualité d'une tranche unique et la cohérence globale du lot.

Protection à long terme sans contamination par les particules: Dans les chambres de réaction MOCVD contenant des gaz hautement corrosifs, les socles en graphite ordinaires sont sujets à l'écaillage des particules. Le revêtement CVD SiC de VETEK possède une inertie chimique exceptionnelle, agissant comme un bouclier impénétrable qui scelle les micropores du graphite. Cela garantit une isolation totale des impuretés du substrat, empêchant toute contamination des couches épitaxiales de GaN ou de SiC.

Résistance à la fatigue et durée de vie exceptionnelles :Grâce au processus de traitement d'interface exclusif de VETEK, notre revêtement SiC atteint une correspondance de dilatation thermique optimisée avec le substrat en graphite. Même sous des cycles thermiques à haute fréquence entre des températures extrêmes, le revêtement maintient une adhérence supérieure sans peler ni développer de microfissures. Cela réduit considérablement la fréquence de maintenance des pièces de rechange et diminue votre coût total de possession.

Notre atelier