Bateaux à plaquette en quartz

Les bateaux à plateaux de quartz sont des outils de précision indispensables dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. Il joue un rôle vital dans le processus de diffusion à haute température et est largement utilisé dans les LED, les cellules solaires, les dispositifs semi-conducteurs traditionnels, les diodes et autres champs. Dans ces applications, la fonction principale de la plaquette est de porter de manière stable et de placer avec précision les plaquettes de semi-conducteur pour s'assurer que les plaquettes sont uniformément chauffées dans le four à diffusion à haute température, réalisant ainsi des étapes de processus clés telles que le dopage ou l'oxydation. Ses excellentes propriétés physiques font du bateau à la plaquette de quartz la pierre angulaire des dispositifs semi-conducteurs haute performance.

Avantages matériels clés

Construits en quartz fusionné de haute pureté, les bateaux à plaquettes de quartz offrent une combinaison de caractéristiques thermiques, chimiques et électriques supérieures qui sont essentielles pour exiger des applications de semi-conducteur:

● Coefficient de dilatation thermique

Le matériau en quartz a un coefficient de dilatation thermique extrêmement faible, ce qui signifie que la taille et la forme du bateau à plaquette peuvent rester très stables sous des changements de température extrêmes. Ceci est crucial pour empêcher la tranche de déformation ou de fissuration en raison de la contrainte thermique dans les processus à haute température, assurant la précision et la cohérence de chaque processus de diffusion.

● Stabilité à haute température

Le quartz peut maintenir son intégrité structurelle et sa stabilité chimique à des températures extrêmement élevées et n'est pas facile à ramollir ou à se déformer. Cela permet aux bateaux à plaquettes de quartz de résister à l'environnement sévère de milliers de degrés Celsius dans le processus de diffusion des semi-conducteurs, assurant la continuité et la fiabilité du processus.

● Excellente isolation

Le quartz est un excellent isolant électrique. Dans les processus de semi-conducteurs, la propriété d'isolation peut effectivement empêcher l'accumulation de charges inutiles ou la décharge d'arc, protégeant ainsi les dispositifs de semi-conducteurs sensibles de les dommages et d'assurer la sécurité du processus.

● Excellente stabilité chimique et transparence

Le quartz a une excellente inertie chimique et n'est pas facile à réagir avec les gaz chimiques dans le four de diffusion ou les substances à la surface de la tranche, évitant ainsi la contamination des impuretés et garantissant la pureté du produit. De plus, sa transparence optique présente également des avantages potentiels dans certains processus de surveillance ou de détection optique spécifiques.

Applications:

● Fabrication des puces LED

● Diffusion et dopage des cellules solaires

● Fabrication IC semi-conductrice

● Traitement de la batterie et des diodes

● Fours d'oxydation thermique et LPCVD

Pourquoi choisir notre bateau à plaquette en quartz?

● Fabriqué à partir de quartz synthétique de haute pureté

● Tailles personnalisables pour les plaquettes de 2 pouces à 12 pouces

● Excellente précision dimensionnelle et finition de surface lisse

● Compatible avec tous les principaux systèmes de fournaise de diffusion

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