Assiette de céramique sic poreuse

La plaque en céramique de sic poreuse est une structure en céramique de structure poreuse faite decarbure de siliciumcomme composant principal et combiné avec un processus de frittage spécial. Sa porosité est réglable (généralement 30% à 70%), la distribution de la taille des pores est uniforme, elle a une excellente résistance à la température, une stabilité chimique et une excellente perméabilité du gaz, et est largement utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs, le dépôt de vapeur chimique (CVD), la filtration de gaz à haute température et d'autres champs.

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Disque en céramique sic poreuxExcellentes propriétés physiques

● Résistance extrêmement élevée à température:

Le point de fusion de la céramique sic est aussi élevé que 2700 ° C, et il peut toujours maintenir une stabilité structurelle supérieure à 1600 ° C, dépassant de loin la céramique d'alumine traditionnelle (environ 2000 ° C), en particulier adapté aux processus à haute température semi-conducteurs.

● Excellentes performances de gestion thermique:

✔ Conductivité thermique élevée: la conductivité thermique du SiC dense est d'environ 120 W / (M · K). Bien que la structure poreuse réduit légèrement la conductivité thermique, elle est encore beaucoup meilleure que la plupart des céramiques et soutient une dissipation de chaleur efficace.

✔ Coefficient de dilatation thermique faible (4,0 × 10⁻⁶ / ° C): presque pas de déformation à haute température, évitant la défaillance du dispositif causée par la contrainte thermique.

● Excellente stabilité chimique

Résistance à la corrosion acide et alcaline (en particulier exceptionnel dans l'environnement HF), résistance à l'oxydation à haute température, adaptée à des environnements difficiles tels que la gravure et le nettoyage.

● Propriétés mécaniques exceptionnelles

✔ Haute dureté (dureté Mohs 9.2, deuxième seulement après diamant), forte résistance à l'usure.

✔ La résistance à la flexion peut atteindre 300 à 400 MPa, et la conception de la structure des pores prend en compte à la fois la résistance légère et mécanique.

● Structure poreuse fonctionnalisée

✔ Surface spécifique élevée: améliorer l'efficacité de la diffusion du gaz, adaptée à une plaque de distribution de gaz de réaction.

✔ Porosité contrôlable: optimiser la pénétration du fluide et les performances de filtration, telles que la formation de film uniforme dans le processus de MCV.

Rôle spécifique dans la fabrication de semi-conducteurs

● Support de processus à haute température et isolation thermique

En tant que plaque de support de plaquette, il est utilisé dans un équipement à haute température (> 1200 ° C) comme les fours de diffusion et les fours de recuit pour éviter la contamination des métaux.

La structure poreuse a à la fois des fonctions d'isolation et de support, réduisant la perte de chaleur.

● Distribution uniforme des gaz et contrôle de la réaction

Dans l'équipement de dépôt de vapeur chimique (CVD), en tant que plaque de distribution de gaz, les pores sont utilisés pour transporter uniformément les gaz réactifs (tels que Sih₄, NH₃) pour améliorer l'uniformité du dépôt de couches minces.

Dans la gravure à sec, la structure poreuse optimise la distribution du plasma et améliore la précision de la gravure.

● Composants de base électrostatique (ESC)

La sic poreuse est utilisée comme substrat de chuck électrostatique, qui atteint l'adsorption de vide par micropores, fixe avec précision la tranche et résiste au bombardement du plasma et a une longue durée de vie.

● Composants résistants à la corrosion

Utilisé pour la doublure de la cavité de l'équipement de gravure et de nettoyage humide, il résiste à la corrosion par des acides forts (comme H₂SO₄, HNO₃) et des alcalis puissants (comme KOH).

● Contrôle d'uniformité du champ thermique

Dans les fours de croissance en silicium monocristallines (comme la méthode Czochralski), en tant que bouclier thermique ou support, sa stabilité thermique élevée est utilisée pour maintenir des champs thermiques uniformes et réduire les défauts du réseau.

● Filtration et purification

La structure poreuse peut intercepter les contaminants des particules et est utilisé dans les systèmes d'administration de gaz / liquide à ultra-pure pour assurer la propreté des processus.

Avantages par rapport aux matériaux traditionnels