Bateau à quartz de haute pureté

Les bateaux de quartz à haute pureté sont des porteurs de précision en matériaux de quartz à ultra-hauteur de pureté (teneur en Sio₂ ≥ 99,99%), conçus pour des processus à haute température et à haute épuisement. Ce dispositif est essentiel pour des processus tels que le recuit, la diffusion, l'oxydation et le dépôt de vapeur chimique (CVD), et est largement utilisé dans les semi-conducteurs, la photovoltaïque et d'autres champs. Son avantage central réside dans la stabilité physique et chimique du matériau lui-même.

Ⅰ. Excellentes propriétés physiques du bateau en quartz de haute pureté Veteksemicon

Ⅱ. Utilisations principales et avantages des produits correspondants du bateau de quartz de haute pureté

1. Fabrication de semi-conducteurs:

Utilisations spécifiques: Outils porteurs dans les processus de diffusion, d'oxydation, de recuit et de MCV (dépôt chimique de vapeur).

Avantages du produit:

● Pollution ultra-faible: Les bateaux à plaquettes purs à 99,99% de VetekSemicon évitent la contamination des ions métalliques et assurent les performances électriques des puces.

● Taille précise: La planéité du bateau à plaquette de quartz est de ± 0,05 mm, garantissant un chauffage uniforme de la tranche (comme un bateau à plaquette de 12 pouces).

● Longue durée de vie: Selon les données de production réelles que nous avons enregistrées, les bateaux à plaquettes de quartz que nous produisons peuvent être utilisés en continu pendant plus de 1000 heures à 1200 ° C, réduisant considérablement la fréquence de remplacement (par rapport aux bateaux de quartz ordinaires, la durée de vie est augmentée de 3 fois).

2. Industrie photovoltaïque

Utilisations spécifiques: Dans le domaine de la fabrication de l'industrie photovoltaïque, les bateaux de quartz de haute pureté sont généralement utilisés pour les tranches de silicium dans la diffusion de phosphore des cellules perc et le processus de diffusion du bore des cellules topcon.

Avantages de performance:

● Conception de charge élevée: Le bateau unique que nous produisons peut transporter 200 ~ 300 tranches de silicium (épaisseur de 160 à 180 μm), améliorant considérablement la capacité de production de la plaquette par unité de temps.

● Rapidage de la température et baissent: Coefficient de dilatation thermique ultra-bas (0,55 × 10⁻⁶ / ° C (20 ~ 1000 ° C), près de l'expansion zéro) prend en charge une réduction de 10% à 15% du cycle de processus.

● Effet anti-conjoint: Aucune précipitation d'ions sodium pendant le processus de chargement de la plaquette de silicium ne réduit le risque de dégradation photo-induite.

Ⅲ. Spécifications d'emballage de bateau en quartz

Les bateaux de quartz VetekSemicon utiliseront un emballage dense multicouche pour assurer l'intégrité du produit pendant le stockage et le transport.

Dans le même temps, VeteKseminCon prend en charge la conception de processus étendue personnalisée, telle que la taille non standard (erreur ± 0,1 mm), la conception d'empilement multicouche (jusqu'à 5 couches) et le revêtement de film résistant à la température élevée (comme le revêtement SIC). Bienvenue à votre nouvelle consultation.