Anneau revêtu de SiC pour four vertical

Dans les fours verticaux, l'utilisation d'anneaux enrobés sic est une solution courante, principalement utilisée dans les processus de traitement thermique à haute température deAffinages semi-conducteurs. Les anneaux revêtus de SiC pour four vertical sont des composants hautes performances et résistants aux températures élevées utilisés pour soutenir ou protéger les plaquettes afin de garantir la stabilité et la fiabilité du processus.

Les fonctions de l'anneau revêtu de SiC à four vertical

● Fonctions

Rôle de soutien. Utilisé pour soutenir les plaquettes pour assurer leur stabilité et leur position précise dans les fours à haute température.

●  Protection contre la corrosion

Empêchez les gaz corrosifs ou les produits chimiques de corroder le matériau de base.

●  Réduire la pollution

Le revêtement SiC de haute pureté peut empêcher efficacement la perte de particules et la contamination par impuretés afin de garantir la propreté du processus.

●  Résistance aux hautes températures

Maintenir d'excellentes propriétés mécaniques et stabilité dimensionnelle dans des environnements à haute température (généralement plus de 1000 ° C).

Les caractéristiques de l'anneau revêtu de SiC pour four vertical

●  Fureur et force élevée

Les matériaux SIC ont une excellente résistance mécanique et peuvent résister à une contrainte à haute température dans la fournaise.

●  Bonne stabilité thermique

La conductivité thermique élevée et le faible coefficient de dilatation thermique du SiC contribuent à réduire les contraintes thermiques.

●  Fort stabilité chimique

Les revêtements SiC peuvent résister à la corrosion dans des environnements oxydants, acides ou alcalins.

●  Faible contamination par les particules

La surface lisse réduit la possibilité de génération de particules, ce qui est particulièrement adapté à l'environnement ultra-propre de la fabrication de semi-conducteurs.

Utilisé pour la diffusion, l'oxydation, le recuit et d'autres processus dans les fours verticaux pour soutenir les tranches de silicium et prévenir la contamination des particules pendant le traitement thermique.

Matériaux et procédés de fabrication

● Substrat: en graphite SGL de haute qualité, la qualité est garantie.

●  Revêtement : un revêtement en carbure de silicium est appliqué sur la surface du graphite par dépôt chimique en phase vapeur (CVD).

●  L'épaisseur du revêtement est généralement comprise entre 50 et 500 μm, qui est ajustée en fonction des exigences d'utilisation.

● Le revêtement de dépôt de vapeur chimique SIC a une pureté et une densité plus élevées, et une meilleure durabilité.

Sélectionnez le appropriéRevêtement sicAnneau selon le diamètre de la tranche de silicium dans le four et les spécifications du transporteur. Nous pouvons le personnaliser pour vous. La pureté élevée, le revêtement dense est plus durable et moins polluante. Remplacez régulièrement en fonction de la fréquence d'utilisation et des exigences de processus pour éviter la contamination ou la défaillance du support en raison du vieillissement du revêtement.

En tant que fournisseur et fabricant de bagues en revêtement de four à fournaise professionnelle en Chine, Vetek Semiconductor s'est longtemps engagé à fournir une technologie de fournaise verticale avancée et des solutions de produits pour l'industrie des semi-conducteurs. Nous sommes sincèrement impatients de devenir votre partenaire à long terme en Chine.

CVD SIC Film Structure cristalline

Propriétés physiques de base du revêtement CVD SIC

It semi-conducteurBoutiques à bague enrobées de fourneau vertical: