Plaque de distribution de gaz en quartz

Les plaques de distribution de gaz en quartz, également connues sous le nom de pommes de douche en quartz, sont des composants essentiels dans la fabrication de semi-conducteurs. Tirant parti de la pureté exceptionnelle, de la résistance à haute température et de la résistance à la corrosion du quartz, ces plaques garantissent un flux uniforme et stable de gaz de processus sur la surface de la plaquette. Cette livraison précise est essentielle pour maintenir la qualité et l'uniformité des films déposés ou des caractéristiques gravées.

Caractéristiques clés du quartz fusionné de haute pureté

● Matériel: 99,99% de quartz fusionné à haute pureté

● Résistance à haute température: Résister aux températures supérieures à 1000 ℃

● Résistance à la corrosion: Excellente durabilité contre les gaz de processus et les environnements plasmatiques

● Débit de gaz de précision: Distribution uniforme des micro-trous pour la livraison optimale de gaz et l'uniformité du dépôt

● Design personnalisable: La taille, le motif de trou et les caractéristiques de montage peuvent être adaptés à des modèles d'équipement spécifiques

Rôles de base dans la fabrication de semi-conducteurs

1. Dépôt de vapeur physique (PVD) et dépôt de vapeur chimique (CVD)

Rôle: Dans les processus PVD et CVD, la plaque de distribution de gaz dirige précisément les gaz réactifs (par exemple, le silane, l'ammoniac, l'oxygène) ou les précurseurs sur la tranche pour former un film mince souhaité.

Utilisations spécifiques:

● Contrôle d'uniformité: Les micro-trous de la plaque avec précision garantissent que l'écoulement et la concentration de gaz sont uniformes sur toute la surface de la plaquette. Ceci est vital pour le dépôt de films avec une épaisseur et des performances cohérentes.

● Prévention de la contamination: La haute pureté du quartz empêche la plaque de réagir avec les gaz de procédé ou de libérer des impuretés. Cela maintient la pureté du film et empêche les défauts de la surface de la plaquette.

2. Dépôt de vapeur chimique amélioré par plasma (PECVD)

Rôle: Dans PECVD, la pomme de douche en quartz fournit non seulement des gaz réactifs, mais fonctionne également comme une électrode pour la génération de plasma.

Utilisations spécifiques:

● Ignition du plasma: La pomme de douche est généralement connectée à une source d'alimentation radio-fréquence (RF) pour générer un plasma. Des particules à haute énergie dans le plasma favorisent la décomposition de réactifs gazeux, permettant le dépôt de film à des températures plus basses.

● Stabilité thermique: le quartz présente une excellente stabilité thermique, lui permettant de résister à l'environnement plasma à haute température. Cela aide à maintenir une température uniforme dans la chambre de processus, assurant davantage la qualité et la cohérence du film.

3. Gravure à sec

Rôle: Dans la gravure sèche, la plaque de distribution du gaz introduit des gaz de gravure réactifs (par exemple, les fluorocarbures, le chlore) dans la chambre de gravure.

Utilisations spécifiques:

● Uniformité de la gravité: la plaque assure un débit uniforme et une concentration de gaz de gravure, ce qui garantit une profondeur et un profil de gravure cohérents sur toute la plaquette. Ceci est crucial pour la réalisation des modèles précis requis pour les dispositifs semi-conducteurs avancés.

● Résistance à la corrosion: les fortes propriétés corrosives des gaz de gravure nécessitent un matériau durable. La forte résistance à la corrosion du quartz prolonge la durée de vie de la pomme de douche et réduit le risque d'interruptions de processus.

4. Nettoyage de la plaquette

Rôle: Dans des processus de nettoyage spécifiques à la plaque, une plaque de distribution de gaz en quartz est utilisée pour fournir des gaz de nettoyage (par exemple, l'ozone, l'ammoniac) uniformément à la surface de la plaquette pour éliminer les résidus ou les contaminants.

Utilisations spécifiques:

● Nettoyage cohérent: la plaque garantit que les gaz de nettoyage atteignent chaque partie de la plaquette, permettant un processus de nettoyage complet et uniforme.

● Compatibilité chimique: la compatibilité du quartz avec une large gamme de produits chimiques de nettoyage empêche les réactions et maintient la pureté et l'efficacité du processus de nettoyage.