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Les nanomatériaux en carbure de silicium (SIC) sont des matériaux avec au moins une dimension à l'échelle nanométrique (1-100 nm). Ces matériaux peuvent être zéro, un, deux ou trois dimensions et avoir des applications diverses.

CVD SIC est un matériau en carbure de silicium de haute pureté fabriqué par le dépôt de vapeur chimique. Il est principalement utilisé pour divers composants et revêtements dans l'équipement de traitement des semi-conducteurs. Le contenu suivant est une introduction à la classification des produits et aux fonctions de base du CVD SIC

Cet article présente principalement les types de produits, les caractéristiques des produits et les principales fonctions du revêtement TAC dans le traitement des semi-conducteurs, et effectue une analyse complète et une interprétation des produits de revêtement TAC dans son ensemble.

Cet article introduit principalement les types de produits, les caractéristiques des produits et les principales fonctions du MOCVD Suscepteur dans le traitement des semi-conducteurs, et effectue une analyse complète et une interprétation des produits MOCVD Sous-Sousger dans son ensemble.

Un suscepteur en graphite revêtu de SiC pour l'ASM n'est pas seulement une pièce de rechange à l'intérieur d'un système d'épitaxie. Il s'agit d'un support essentiel au processus qui influence l'uniformité thermique, la propreté des plaquettes, la durabilité du revêtement, la stabilité de la chambre et le coût de production à long terme.

Un couvercle de revêtement CVD TaC n'est pas seulement un couvercle de protection ou un composant en graphite revêtu. Dans les processus de semi-conducteurs à haute température, cela peut influencer la propreté de la chambre, la stabilité thermique, la durée de vie des pièces et la cohérence du processus.