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Dans la préparation de substrats de carbure de silicium de haute qualité et à haut rendement, le noyau nécessite un contrôle précis de la température de production par de bons matériaux de champ thermique. Actuellement, les kits de creuset à champ thermique principalement utilisés sont des composants structurels de graphite de haute pureté, dont les fonctions sont de chauffer la poudre de carbone fondu et de la poudre de silicium ainsi que de maintenir la chaleur.

Lorsque vous voyez les semi-conducteurs de troisième génération, vous vous demanderez sûrement quelles étaient les première et deuxième générations. La "génération" ici est classifiée en fonction des matériaux utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs.

Le mandrin électrostatique (ESC), également connu sous le nom de Chuck électrostatique (ESC, E-Chuck), est un luminaire qui utilise le principe de l'adsorption électrostatique pour maintenir et fixer le matériau adsorbé. Il convient aux environnements sous vide et plasma.