Board de plaquette de quartz de haute pureté

Le bateau à plaquettes de quartz de haute pureté de VeTek Semiconductor est fabriqué à partir de quartz de très haute pureté, qui présente les caractéristiques d'une faible teneur en hydroxyle, d'une grande pureté et d'une forte résistance aux températures élevées. Ce matériau est également largement utilisé dans l’industrie des semi-conducteurs comme matériau pour les fours à diffusion et les composants des fours CVD. En tant que conteneur pour transporter des tranches de silicium, les tranches de bateau en quartz de haute pureté ont été utilisées dans les domaines des semi-conducteurs, du photovoltaïque, de la chimie et autres.

Scénarios d'application

Le premier est le domaine des semi-conducteurs. Le processus de traitement thermique des plaquettes est très important, notamment l'oxydation thermique, la diffusion, le recuit, etc. Grâce au processus de traitement thermique, nous donnons aux plaquettes de nouvelles caractéristiques.

Les tubes de noyau de four à lots sont utilisés pour les processus de traitement des plaquettes semi-conducteurs tels que l'oxydation thermique, la diffusion à haute température, le recuit et le dépôt de couches minces. La fournaise de chauffage par lots est principalement utilisée pour chauffer le corps du four par bobines pour terminer le traitement thermique. Selon les différentes structures de travail, les tubes de noyau de four à lots peuvent être divisés en fours horizontaux et fours verticaux:

(1) Le bateau à plate-forme de quartz de haute pureté du four horizontal est placé horizontalement, il est donc appelé un four horizontal.

Dans le processus de traitement thermique, la tranche est chargée sur le bateau à plaquette de quartz de haute pureté, lentement envoyée dans le tube de four à quartz, et la tranche est placée dans une zone de température constante pour le traitement. Après avoir attendu que le processus soit terminé, le bateau de quartz utilisé à la tranche est lentement retiré du four à quartz pour empêcher la tranche endommagée en raison de changements de température soudains. Les fours horizontaux sont largement utilisés dans le processus de diffusion des circuits intégrés avec des diamètres de plaquette inférieurs à 200 mm. 

Les avantages des fours horizontaux sont un processus simple, une bonne uniformité entre les tranches et la possibilité de traiter plusieurs tranches en même temps. Les inconvénients sont une vitesse de chauffage lente, une grande taille d'équipement, une difficulté d'automatisation et une entrée facile d'air extérieur lors du chargement et du déchargement des tranches.

(2) Le bateau à plaquettes de quartz de haute pureté du four vertical est placé verticalement, c'est pourquoi on l'appelle un four vertical.

La tranche est chargée sur la tour de quartz et monte lentement vers le tube du four à quartz pour être chauffée. Pendant le processus de chauffage, le bateau à plaquettes de quartz de haute pureté tournera lentement pour garantir que la plaquette est chauffée uniformément. Après le traitement, la tour de quartz descendra lentement pour éviter les changements de température susceptibles d'endommager la plaquette. Les fours verticaux sont principalement utilisés dans le processus de circuits intégrés de tranches de 200 mm et 300 mm de diamètre. La technologie de base des fours verticaux réside dans le contrôle de haute précision du champ de température, le contrôle des particules, le contrôle du micro-oxygène du micro-environnement et la motorisation. Les avantages des fours verticaux sont une fine couche d'oxyde naturel, une bonne uniformité, une automatisation plus facile, un faible encombrement de l'équipement et un traitement par lots. L’inconvénient est que la vitesse de chauffage est lente.

Dans le domaine photovoltaïque, le processus de production de cellules photovoltaïques nécessite des bateaux en quartz pour transporter et transporter des tranches de silicium lors du processus de diffusion à haute température. Le traitement à haute température dans une atmosphère d'azote, d'oxygène ou d'un autre gaz inerte de haute pureté, telle que la diffusion de phosphore ou de bore, est une étape importante dans le processus de fabrication des cellules solaires. Le but est de former une jonction PN sur la plaquette de silicium.

Le bateau en quartz comporte des fentes conçues avec précision à l'intérieur pour garantir que la plaquette de silicium conserve la position exacte pendant le processus de diffusion à haute température et est chauffée uniformément. Étant donné que le matériau de quartz a une bonne résistance aux températures élevées et une bonne stabilité chimique, il ne polluera pas la plaquette de silicium, ce qui favorise le maintien d'une grande propreté de l'environnement de production.

En tant qu'innovateur et leader sur le marché des bateaux de quartz utilisés en Chine, que vous soyez engagé dans l'industrie des semi-conducteurs ou dans l'industrie photovoltaïque, tant que vous avez besoin d'un bateau à plaquette de quartz de haute pureté, veuillez nous demander un devis et nous pourrons adapter à l'adaptation cela pour vous en fonction de vos besoins.

It semi-conducteur magasins de produits :