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Bateau de plaquettes de quartz de haute pureté pour TEL
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Bateau de plaquettes de quartz de haute pureté pour TEL

Le bateau à plaquettes de quartz de haute pureté VETEK pour équipement à semi-conducteurs TEL est fabriqué à partir d'un matériau de quartz de qualité semi-conducteur et conçu pour la manipulation de plaquettes dans des processus à haute température tels que la diffusion, l'oxydation, le recuit et le CVD. Avec une excellente stabilité thermique, une résistance chimique et de faibles caractéristiques de contamination, il fournit un support de tranche fiable pour les applications de fabrication de semi-conducteurs.

Avantages du produit

1. Matériau de quartz de haute pureté :Fabriqué à partir de quartz de haute pureté pour minimiser les risques de contamination lors du traitement des semi-conducteurs.

2. Excellente stabilité thermique :Fournit des performances stables dans des conditions de traitement répétées à haute température.

3. Faible génération de particules :La finition de surface lisse aide à réduire la génération de particules et à maintenir la propreté du processus.

4. Conception personnalisée :Prend en charge les dimensions, tailles de tranches et structures personnalisées en fonction des exigences d'équipement du client.

5. Traitement du quartz de précision :Fabriqué grâce à des technologies avancées de traitement du quartz, notamment le polissage au feu, le soudage et le recuit.

  


Spécifications techniques

Article
Spécification
Matériel
Quartz de haute pureté (quartz fondu)
Application
Traitement thermique des semi-conducteurs
Équipement compatible
TEL et autres systèmes de fours à semi-conducteurs
Processus
Diffusion / Oxydation / Recuit / CVD
Taille de la plaquette
Personnalisé
Technologie de traitement
Polissage au feu / Soudage / Recuit
Personnalisation
Disponible

Applications

Le bateau à plaquettes de quartz de haute pureté est largement utilisé dans les équipements de traitement thermique des semi-conducteurs, notamment :

- Four à diffusion

- Four d'oxydation

- Équipement de recuit

- Systèmes de traitement CVD

Il convient aux applications de manipulation de plaquettes dans la fabrication de circuits intégrés, la production de semi-conducteurs de puissance et d'autres processus avancés de semi-conducteurs.


Pourquoi choisir VETEK ?

1. Expertise en matériaux semi-conducteurs :VETEK se concentre sur les matériaux semi-conducteurs et les composants de processus de haute pureté, en fournissant des solutions comprenant des composants en quartz, des produits à revêtement CVD SiC, des composants en graphite et d'autres matériaux avancés.

2. Capacité avancée de traitement du quartz :VETEK fournit des services de traitement du quartz de qualité semi-conducteur, notamment le polissage au feu, le soudage et le recuit pour répondre aux exigences de composants de haute qualité.

3. Solutions de semi-conducteurs personnalisées :VETEK prend en charge les composants semi-conducteurs personnalisés en fonction de l'équipement du client, de la taille des plaquettes et des exigences du processus.


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