CVD SIC Graphite Cylinder

Le cylindre en graphite CVD SIC de Vetek Semiconductor joue un rôle important dans l'équipement de semi-conducteur. Il est généralement utilisé comme couverture de protection à l'intérieur du réacteur pour assurer la protection des composants internes du réacteur dans des environnements à haute température et à haute pression. Cette couverture protectrice peut isoler efficacement les produits chimiques et les températures élevées dans le réacteur, les empêchant de endommager l'équipement. Dans le même temps, le cylindre en graphite CVD SIC a également une excellente résistance à l'usure et à la corrosion, ce qui le rend capable de maintenir la stabilité et la durabilité à long terme dans des environnements de travail difficiles. En utilisant des couvertures de protection faites de ce matériau, les performances et la fiabilité des dispositifs semi-conducteurs peuvent être améliorées, prolongeant la durée de vie de l'appareil tout en réduisant les besoins de maintenance et le risque de dommages.

Le cylindre en graphite CVD SIC est largement utilisé dans l'équipement semi-conducteur, couvrant les zones clés suivantes:

Équipement de traitement thermique

Il sert de couverture protectrice ou de bouclier thermique dans l'équipement de traitement thermique. Cela non seulement protége les composants internes de dommages à haute température, mais offre également une excellente résistance à la température élevée.

Réacteurs de dépôt de vapeur chimique (CVD)

Dans les réacteurs CVD, il agit comme une couverture protectrice de la chambre de réaction chimique. Il isole efficacement les substances de réaction et offre une bonne résistance à la corrosion.

Environnements corrosifs

Grâce à sa résistance à la corrosion exceptionnelle, le cylindre en graphite CVD SIC peut être utilisé dans des contextes chimiquement corrosifs pendant la fabrication de semi-conducteurs, tels que des environnements avec des gaz ou des liquides corrosifs.

Équipement de croissance des semi-conducteurs

Il fonctionne comme des couvertures de protection ou d'autres composants de l'équipement de croissance des semi-conducteurs. En protégeant l'équipement des températures élevées, de la corrosion chimique et de l'usure, il assure la stabilité de l'équipement et la fiabilité à long terme.

Caractérisé par une stabilité à haute température, une résistance à la corrosion, d'excellentes propriétés mécaniques et une bonne conductivité thermique, le cylindre de graphite SIC CVD facilite la dissipation de chaleur plus efficace dans les dispositifs semi-conducteurs, maintenant ainsi la stabilité et les performances du dispositif.