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Epitaxy en carbure de silicium

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Carbure de carbure en silicium porte-plaquette

Carbure de carbure en silicium porte-plaquette

Vetek Semiconductor est l'un des principaux fournisseurs de porte-aigues en carbure de silicium personnalisés en Chine. Nous avons été spécialisés dans les matériaux avancés plus de 20 ans. Nous proposons une porteuse d'épitaxy en carbure de silicium pour transporter un substrat SIC, une couche d'épitaxy sic croissante dans un réacteur épitaxien SIC. Cette porteuse à la plaquette d'épitaxie en carbure de silicium est une partie importante enrobée SIC de la partie demi-lune, une résistance à haute température, une résistance à l'oxydation, une résistance à l'usure. Nous vous invitons à visiter notre usine en Chine.
Pièce demi-lune de 8 pouces pour réacteur LPE

Pièce demi-lune de 8 pouces pour réacteur LPE

VeTek Semiconductor est l'un des principaux fabricants d'équipements semi-conducteurs en Chine, se concentrant sur la R&D et la production de pièces demi-lune de 8 pouces pour le réacteur LPE. Nous avons accumulé une riche expérience au fil des années, notamment dans les matériaux de revêtement SiC, et nous nous engageons à fournir des solutions efficaces adaptées aux réacteurs épitaxiaux LPE. Notre pièce demi-lune de 8 pouces pour réacteur LPE offre d'excellentes performances et compatibilité et constitue un élément clé indispensable dans la fabrication épitaxiale. Faites bon accueil à votre demande pour en savoir plus sur nos produits.

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.


Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.


Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs,  IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.


Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.


To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.


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